2インチ石英ウェーハ 高純度溶融シリカウェーハ 超高透過率

2インチ石英ウェーハは、高純度合成石英（溶融シリカ）で作られた高性能基板材料であり、優れた光学的透明性、非常に低い熱膨張係数、および優れた化学的安定性を特徴としています。 2インチ石英ウェーハは、半導体製造、光エレクトロニクス、MEMS/NEMS、科学光学などのハイエンドアプリケーションで広く使用されており、精密光学部品やマイクロ電子デバイスの重要な基盤材料として機能しています。

ZMSHは、高精度石英ウェーハの研究開発、製造、カスタマイズを専門としています。 精密研磨、レーザーカット、コーティングなどの高度な加工技術を使用して、さまざまな仕様（直径、厚さ、表面処理など）に対するお客様の要件を満たすテーラーメイドソリューションを提供しています。 当社の製品は、卓越した寸法精度（TTV ≤10μm）と表面品質（Ra ≤5nm）を保証します。 さらに、お客様の全開発から生産までのサイクルをサポートするために、少量バッチおよび大規模量産向けの迅速なプロトタイピングを提供しています。

ZMSHの石英ウェーハは、業界標準に厳密に準拠しており、過酷な産業環境（高温、高腐食性条件など）に適しています。 また、特定のアプリケーションニーズを満たすために、反射防止（AR）または赤外線（IR）エンハンスメントなどの光学コーティングでカスタマイズすることもできます。 成熟した製造技術と厳格な品質管理システムを活用し、高性能で信頼性の高い石英ガラスソリューションを世界中のお客様に提供することに尽力しています。

の仕様2インチ石英ウェーハ

2インチ石英ウェーハの主な利点

1. 高純度材料: 純度≥99.99%の合成石英（溶融シリカ）で作られており、優れた光学的および化学的安定性を保証します。

2. 優れた熱安定性: 低熱膨張係数（~0.55×10⁻⁶/°C）と高温耐性（軟化点~1665°C）があり、高温プロセスに適しています。

3. 高い光透過率: UVからIR波長（190nm～3500nm）にわたる優れた光透過率（>90％）。

4. 卓越した平坦性: 低い表面粗さ（Ra ≤5nm）と厳しい全厚変動（TTV ≤10μm）により、精密リソグラフィおよびコーティングアプリケーションの要求を満たします。

5. 化学的慣性: 強酸（HFを除く）、アルカリ、および有機溶剤に耐性があり、過酷な化学環境に最適です。

2インチ石英ウェーハの産業用途

2インチ石英ウェーハは、その高純度、熱安定性、および光学性能により、高度な技術分野で広く使用されています。主な用途は次のとおりです。

(1)半導体製造

· フォトマスク基板: ICパターン転写におけるフォトマスクのベース材料として使用され、超高平坦性と低欠陥率が要求されます。

· エッチングプロセスキャリア: ドライおよびウェットエッチングプロセスにおけるウェーハハンドリング用のトレイとして機能し、プロセスの安定性に影響を与えることなく耐食性を提供します。

· CMPパッド: ウェーハ平坦化に適用され、均一な研磨を保証し、表面損傷を最小限に抑えます。

· イオン注入シールド: ドーピングプロセスにおけるバリア層として機能し、イオンビームの浸透を妨げることなく高温に耐えます。

(2)光エレクトロニクスおよびレーザー技術

· 光学フィルターとウィンドウ: UV、可視、およびIR光学システム（レーザー保護ウィンドウや分光計コンポーネントなど）で使用されます。

· 光ファイバーコンポーネント: エンドフェースコネクタおよびWDM基板として機能し、低い光損失と高い信号伝送効率を保証します。

· 高出力レーザー光学系: CO₂レーザーおよびフェムト秒レーザーシステムでミラーおよびレンズとして利用され、高温耐性とレーザー損傷耐性を提供します。

(3)MEMS/NEMS（マイクロ/ナノ電気機械システム）

· マイクロセンサー基板: 圧力センサーや加速度計に使用され、高い機械的強度と熱安定性を提供します。

· マイクロ流体チップ: 生物医学的検出にマイクロチャネル構造として使用され、化学的慣性によりサンプル汚染を防ぎます。

· ナノインプリントテンプレート: ナノスケールでの高精度パターン複製を可能にします。

石英カスタム形状スルーホールプレートの推奨事項

ZMSHは、光学、半導体パッケージング、センサーの用途に対応する、精密スルーホールを備えた石英プレートのカスタマイズされた機械加工サービスを提供しています。 当社の製品は、高精度穴あけ、カスタム形状の切断、および表面処理を特徴とし、±0.01mmの寸法公差を保証します。 ZMSHは、さまざまなアプリケーションにわたる厳しい要件を満たすために、迅速なプロトタイピングと量産を提供します。