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6インチ直径 150mm 石英ガラスウェーハ 5N 純度 SiO₂
6インチ直径 150mm 石英ガラスウェーハ 5N 純度 SiO₂
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6インチ直径 150mm 石英ガラスウェーハ 5N 純度 SiO₂
6インチ直径 150mm 石英ガラスウェーハ 5N 純度 SiO₂
6インチ直径 150mm 石英ガラスウェーハ 5N 純度 SiO₂
仕様
モデル番号 :
6インチ石英ウェーハ
原産地 :
中国
最小注文数量 :
10
支払条件 :
T/T
供給能力 :
月1000個
配達時間 :
5-8weeks
パッケージの詳細 :
100グレードのクリーンルームでの梱包
直径 :
6インチ (150mm)
厚さの許容度 :
±0.02mm
総厚さの変化 :
≤10μm
表面の荒さ :
≤0.5nm Ra
パラレリズム :
≤3μm
耐性 :
>1016 Ω·cm
記述

なぜ6インチ石英ウェーハを選ぶのか？

6インチ石英ウェーハは、半導体、光学、MEMS（微小電気機械システム）で広く使用されている高精度で超高純度の基板です。その主な特性である、卓越した純度、超低熱膨張、高い引張強度、優れた光線透過率、および独自の電気的特性により、精密製造および高性能デバイスに不可欠です。

概要6インチ石英ウェーハについて

エンドツーエンドのソリューションを提供します。

6インチ直径150mm石英ガラスウェーハ 5N純度 SiO₂

ZMSHは6インチ石英ウェーハの製造を専門としており、以下を提供しています。

マルチサイズカスタマイズ：標準の6インチウェーハに加えて、4インチ、8インチ、12インチのバリアント

エッジ処理：面取りエッジ、ノッチ、オリエンテーションフラットのオプション

表面処理：カスタム研磨、コーティング、パターニングサービス

パラメータ 6インチ石英ウェーハ用タグ: #6インチ石英基板、 #カスタマイズ、#溶融シリカプレート、#SiO₂結晶、#石英ウェーハ、#JGS1/JGS2グレード、#高純度、#溶融シリカ光学部品、 #石英ガラスプレート、#直径150mm​​、#石英ガラスウェーハ、#5N純度SiO₂

仕様直径 6インチ（150mm）
厚さ範囲 0.5mm～3.0mm
厚さ公差 ±0.02mm
全厚変動 ≤10μm
表面粗さ（研磨） ≤0.5nm Ra
平行度 ≤3μm
CTE（20-300℃） 0.55×10⁻⁶/℃
50-70 MPa（化学強化オプションあり） >92%
抵抗率 >10⁶ Ω・cm
真空適合性 10⁻⁰ Torr
曲げ強度（強化） 500-700MPa
​​ 主な特性

1. 半導体製造特性技術仕様タグ: #6インチ石英基板、 #カスタマイズ、#溶融シリカプレート、#SiO₂結晶、#石英ウェーハ、#JGS1/JGS2グレード、#高純度、#溶融シリカ光学部品、 #石英ガラスプレート、#直径150mm​​、#石英ガラスウェーハ、#5N純度SiO₂

≥99.999% SiO₂含有量 CTE（20-300℃）
0.55×10⁻⁶/℃（超低熱膨張） 引張強度
50-70 MPa（化学強化オプションあり） 光線透過率
>92% @190-3500nm（UVからNIRスペクトル） 電気的特性
抵抗率 >10⁶ Ω・cm、圧電係数 ​​
戦略的アプリケーション​ 6インチ石英ウェーハの

1. 半導体製造6インチ石英ウェーハは、A: 5N純度の石英は、1000℃を超えるHTPS TFTおよび半導体アニーリングプロセスにおける汚染リスクを最小限に抑え、一貫した誘電特性を保証します。タグ: #6インチ石英基板、 #カスタマイズ、#溶融シリカプレート、#SiO₂結晶、#石英ウェーハ、#JGS1/JGS2グレード、#高純度、#溶融シリカ光学部品、 #石英ガラスプレート、#直径150mm​​、#石英ガラスウェーハ、#5N純度SiO₂

チップ製造

、および関連分野で広く使用されており、特に以下の製造に利用されています。- メモリチップ（DRAM、NANDフラッシュ）- アナログ/パワーデバイス（IGBT、MOSFET）

- 高度なセンサー（MEMS、CMOSイメージセンサー）

2. 光学部品その

高い光線透過率と

6インチ直径 150mm 石英ガラスウェーハ 5N 純度 SiO₂

超低CTE

により、石英ウェーハは以下に最適です。- 精密レンズ（圧力、慣性、バイオセンサー）- 光学フィルター（バンドパス、ダイクロイック）

- 導波路（フォトニックIC、ファイバー結合素子）

3. MEMS（微小電気機械システム）石英ウェーハは、その

寸法安定性と

機械的堅牢性

により、MEMSデバイスのプレミアム基板として機能し、以下を含みます。- マイクロセンサー（圧力、慣性、バイオセンサー）- マイクロアクチュエータ（RFスイッチ、圧電トランスデューサ）

- 共振器（5Gフィルター、タイミングデバイス）

4. 高温ポリSi TFT-LCD石英ウェーハは、

高性能ディスプレイの製造に不可欠であり、具体的には以下に使用されます。

- HTPS（高温ポリSi）TFTバックプレーン

- マイクロディスプレイ（AR/VR、LCoS）- 高度なLCDパネル

（OLEDエンキャプシュレーション基板）

​6インチ石英ウェーハのカスタム製造サービス

6インチ石英ウェーハ

エンドツーエンドのソリューションを提供します。

1. 材料選択：JGS1/JGS2石英、合成溶融シリカ2. 精密機械加工：タグ: #6インチ石英基板、 #カスタマイズ、#溶融シリカプレート、#SiO₂結晶、#石英ウェーハ、#JGS1/JGS2グレード、#高純度、#溶融シリカ光学部品、 #石英ガラスプレート、#直径150mm​​、#石英ガラスウェーハ、#5N純度SiO₂

6インチ直径 150mm 石英ガラスウェーハ 5N 純度 SiO₂

- 超音波ドリル（アスペクト比10:1）

3. 表面エンジニアリング：

- ナノ研磨（Ra

<0.3nm）

- DUV/IR反射防止コーティング

4. 品質保証：

- クラス10クリーンルーム処理- 完全なメトロロジーレポート（TTV、ワープ、ボウ）

FAQ

6インチ石英ウェーハの

1. Q: 半導体製造において、6インチ石英ウェーハがより小さいサイズよりも優れている点は何ですか？

A: 6インチ（150mm）石英ウェーハは、4インチウェーハよりも56%多くの使用可能面積を提供し、エッジ除外損失を大幅に削減し、高度なパッケージングとMEMS製造のスループットを向上させます。

2. Q: 石英ウェーハの純度（≥99.999%）は、高温プロセスにどのように影響しますか？A: 5N純度の石英は、1000℃を超えるHTPS TFTおよび半導体アニーリングプロセスにおける汚染リスクを最小限に抑え、一貫した誘電特性を保証します。タグ: #6インチ石英基板、 #カスタマイズ、#溶融シリカプレート、#SiO₂結晶、#石英ウェーハ、#JGS1/JGS2グレード、#高純度、#溶融シリカ光学部品、 #石英ガラスプレート、#直径150mm​​、#石英ガラスウェーハ、#5N純度SiO₂

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