8インチ石英ウェーハは、高純度合成石英ガラス(SiO₂)から製造された精密基板材料であり、優れた物理的、化学的、光学的特性を提供します。標準直径200mm(8インチ)で、カスタマイズ可能な厚さ(例:0.5mm~10mm)があり、ハイエンドの半導体、光電子、光学用途に広く使用されています。超高純度(≥99.99%)、低い熱膨張係数、優れた熱安定性、および優れたUV-IR透過性により、石英ウェーハは、フォトリソグラフィ、エッチング、薄膜堆積などの重要なプロセスに最適です。さらに、安定した誘電特性と耐放射線性により、高精度センサーや航空宇宙グレードのコンポーネントに適しています。
パラメータ | 値/仕様 |
直径 | 200 mm (8インチ) |
厚さ範囲 | 100 μm – 3000 μm |
全厚み変動 (TTV) | ≤10 μm |
表面粗さ (Ra) | ≤1.0 nm |
総不純物含有量 | ≤2.0 μg/g (高純度グレード) |
熱膨張係数 | 0.55×10⁻⁶/K (20–300°C) |
耐熱性 | 軟化点1683°C、短時間許容温度最大1450°C |
UV透過率 | >90% 平均透過率 (200–260 nm) |
用途 | 半導体リソグラフィマスク、UV光学デバイス、MEMSセンサー、レーザーシステム |
1. 高純度(≥99.99%): 半導体プロセスにおける不純物を最小限に抑え、歩留まりを向上させます。
2. 優れた熱安定性: 軟化点は最大1730°Cで、高温プロセス(例:拡散、酸化)に適しています。
3. 低い熱膨張(5.5×10⁻⁷/°C): 熱応力下での変形を軽減し、機械加工精度を向上させます。
4. 高透過率(185nm~2.5μm): UVリソグラフィ、光学センサー、レーザー用途に最適です。
5. 耐薬品性: 強酸(HFを除く)およびアルカリに耐性があり、ウェットエッチング環境に適しています。
6. 高平坦度(<1μm TTV): フォトリソグラフィおよび薄膜堆積の均一性を保証します。
業界 | 用途 | 主な利点 |
半導体 | フォトマスク基板、エッチングキャリア、CMP研磨パッド、拡散プロセス用トレイ | 高温安定性、超低欠陥、チップ製造精度を保証 |
太陽光発電 | 太陽電池用PECVDプロセス、拡散炉キャリア、薄膜堆積基板 | 耐熱衝撃性、セル効率を向上 |
光電子 | LED/LD基板、レーザー窓、光学センサー保護 | 高UV-IR透過率、低蛍光、デバイス性能を向上 |
精密光学 | レンズ基板、プリズム、ビームスプリッター、IR窓 | 低い熱膨張、高い均一性、光学システムの安定性を保証 |
研究開発 | シンクロトロン放射線装置、VUV実験、高エネルギー物理学検出器 | 耐放射線性、極限環境に耐える |
航空宇宙 | 衛星光学窓、宇宙船用高温観測窓 | 宇宙線耐性、耐熱衝撃性、宇宙対応 |
ZMSHは、高精度石英ガラス製品の研究開発、製造、販売を専門としており、以下を提供しています。
· 複数のサイズ:2インチ~12インチウェーハ、非標準カスタマイズ(例:正方形、特殊形状)。
· 多様な形状:円形、正方形、環状、扇形など、機器のニーズに合わせて調整。
· 材料オプション:合成石英(JGS1/JGS2/JGS3)、溶融シリカ、低OH石英。
· 表面処理:研磨、コーティング(AR/IR/DLC)、穴あけ、溝加工など。
· 業界固有のソリューション:半導体、太陽光発電、光通信などのカスタム石英コンポーネント。
石英ガラス窓の簡単な紹介:
ZMSHは、UV-Vis-IR光学システム用の精密カスタマイズされた石英ガラス窓を提供しています。カスタマイズ可能な機能には以下が含まれます。
· 形状:円形、正方形、長方形、または複雑な形状。
· 寸法:直径1mm~500mm、厚さ0.1mm~50mm。
· 表面仕上げ:両面研磨、ARコーティング、金属コーティング。
· 用途:レーザー窓、真空ビューポート、高温ビューファインダー、分光計コンポーネント。
高度なCNC彫刻、レーザー切断、コーティング技術を搭載し、ZMSHは高透過率、低波面歪み、環境耐久性を保証します。
プロトタイピングと量産が可能—カスタマイズされたソリューションについてはお問い合わせください!
1. Q: 8インチ石英ウェーハの標準的な厚さはどれくらいですか?
A: 標準的な厚さは0.5mmから1.0mmで、特定の半導体用途向けには最大10mmのカスタムオプションがあります。
2. Q: シリコンウェーハの代わりに石英ウェーハを使用するのはなぜですか?
A: 石英ウェーハは、リソグラフィや過酷な環境プロセスにおいて、シリコンよりも優れたUV透過率(>90% @193nm)、高い熱安定性(最大1730°C)、および優れた耐薬品性を提供します。
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