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SAW装置のための6インチ耐熱透明モノ結晶クォーツ結晶基板
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SAW装置のための6インチ耐熱透明モノ結晶クォーツ結晶基板
仕様
モデル番号 :
6インチ石英ウェーハ
原産地 :
中国
最小注文数量 :
10
支払条件 :
T/T
供給能力 :
月1000個
配達時間 :
5-8weeks
パッケージの詳細 :
100グレードのクリーンルームでの梱包
直径 :
6インチ (150mm)
厚さの許容度 :
±0.02mm
総厚さの変化 :
≤10μm
表面の荒さ :
≤0.5nm Ra
パラレリズム :
≤3μm
耐性 :
>1016 Ω·cm
記述

 

6インチクォーツのウエファー詳細

わかった

SAW装置のための6インチ耐熱透明モノ結晶クォーツ結晶基板

 
 

6インチクォーツウエファー (直径150mm) は高純度クォーツガラス (純度 ≥99.999%) から製造され,厚さは50〜500μmである. 表面の荒さはCMP (化学機械磨き) を通してRa ≤0.5nmに制御される. 製造過程には以下の要素が含まれます. わかった

 

 

■ 原材料の浄化クォーツ砂から電子級のシリコンを塩化・還元プロセスで抽出し,純度99.9999%を達成する. わかった

■ 単一結晶の成長Czochralski (CZ) 方法を用いて単結晶のシリコン棒を栽培し,欠陥密度 <1欠陥/cm2 わかった

■ 切断と加工シリコン棒を多線式セーリングで150mmのウエフラーに切る.その後,厚さ公差≤±15μmを確保するために双面磨きとレーザーエッチングを行う.

 

 

 

パラメータ 6 件インチクォーツウエファー

 

 

Pアラメーター 仕様
直径 6インチ (150mm)
厚さ範囲 0.5mm~3.0mm
厚さの許容度 ±0.02mm
総厚さの変化 ≤10μm
表面の荒さ (磨き) ≤0.5nm Ra
パラレリズム ≤3μm
CTE (20〜300°C) 0.55×10−6/°C
伝達力 @193nm >92%
耐性 >1016 Ω·cm
バキューム互換性 10−10 トール
折りたたみの強さ (強化) 500〜700MPa

 

 

 

 

6 の 主要 な 特徴 と 利点インチクォーツウエファー

 

SAW装置のための6インチ耐熱透明モノ結晶クォーツ結晶基板

6インチクォーツウエファーは,高純度クォーツ材料で作られた円状薄膜で,半導体製造,光電子,精密光学に広く使用されています.主な特徴は以下です:

 

 

· 高度な純度と熱耐性クォーツガラスの純度 ≥99.999%,軟化点 ~1730°C,短時間許容度は最大1450°C.

 

わかった低熱膨張:熱膨張係数0.5×10−6/°C (25-300°C),熱ショックに耐える (ΔT ≥800°C)

 

化学的安定性:水素フッ素酸を除くすべての酸による腐食に耐性があり,腐食耐性は陶器よりも30倍,ステンレス鋼よりも150倍高い.

 

■ 光学性能:紫外線から近赤外線のスペクトル (可視光>93%,近赤外線>95%) の高い伝達性

 

わかった機械的強度:モース硬度7 圧縮強度 標準ガラスより優れている

 

 

SAW装置のための6インチ耐熱透明モノ結晶クォーツ結晶基板

申請わかった6 のインチクォーツウエファー

 

 

1半導体製造: 自動車電子機器と電力半導体をサポートするダイオード,トランジスタ,MOSFETで使用される.

 

2. 光電子: 5G ネットワークおよびデータセンターにおける光ファイバー,レーザー装置,および波導体の基板として使用されます.

 

3精密光学:赤外線画像システム,レーザー光学,高伝導性レンズに適用される.

 

4. センサーと機器:MEMSセンサーと医療診断機器のコアコンポーネント.

 

5航空宇宙:宇宙船のための高温光学窓と耐熱部品

わかった

 

 

クォーツチューブ 紹介

 

 

クォーツ管は,高純度クォーツガラスで,半導体拡散/酸化プロセスおよび太陽光発電機器に広く使用されています.当社のサービスには以下が含まれます:

 

· カスタム加工:内径 (5-50mm),長さ (100-1000mm),壁厚さ (0.5-3mm).複雑な幾何学 (曲がり,多室管) がサポートされています.

・技術的利点: 1100°Cで長時間動作し,低水酸化物含有量 (<1ppm),高汚染耐性があり,半導体級の清潔性要件を満たしています.

 

 

SAW装置のための6インチ耐熱透明モノ結晶クォーツ結晶基板SAW装置のための6インチ耐熱透明モノ結晶クォーツ結晶基板

 

 

 

よくある質問6 のインチクォーツウエファー

 

 

16インチクォーツウエフルの主要用途は? わかった

A: 6インチクォーツウエファは半導体製造 (ダイオード,MOSFETなど),光電子 (光ファイバー,レーザーなど) で広く使用されています.高熱安定性と光学透明性により 高い性能を誇る.

 

 

2Q: 6インチクォーツウエフルの生産にはどんな課題がありますか? わかった

A: 主な課題は,超高純度 (>99.999% SiO2) を維持し,結晶の成長中に欠陥を最小限に抑え,切断/磨きプロセスの均一性を確保することです.

 

 

 

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