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磁気記録の企業のための CoCr のマグネトロンの放出させるコータ
磁気記録の企業のための CoCr のマグネトロンの放出させるコータ
仕様
モデル番号 :
MSC-MR-X—X
原産地 :
中国、成都
最小注文数量 :
1セット
支払い条件 :
T/T
供給能力 :
ケースバイケース
納期 :
ケースバイケース
パッケージの詳細 :
木製ケース
重さ :
カスタマイズ可能
サイズ :
カスタマイズ可能
カスタマイズ可能 :
利用可能
保証期間 :
ケースバイケース1年
発送条件 :
海/空/マルチモーダル輸送
記述

磁気記録産業におけるマグネトロン スパッタリング成膜

アプリケーション

アプリケーション 特定の目的 材料の種類
磁気記録 垂直磁気記録膜 CoCr
ハードディスク用フィルム CoCrTa、CoCrPt、CoCrTaPt

薄膜磁気ヘッド

 CoTaZr、CoCrZr
人工結晶膜 CoPt、CoPd

動作原理

マグネトロン スパッタリングは、カソード ターゲット表面上に直交 EM フィールドを形成することです。二次以降

電子スパッタで発生した電子は陰極降下領域で高エネルギー電子に加速され、

直接飛ばない陽極に、直角の作用の下でサイクロイドに似ている前後に振動します

EMフィールド。高エネルギー電子は常にガス分子と衝突し、後者にエネルギーを伝達してイオン化します。

低エネルギー電子に。これらの低エネルギー電子は、最終的に磁力線に沿って補助電子にドリフトします。

カソードの近くのアノードと次に吸収され、高エネルギー電子から極性への強い衝撃を回避します。

プレートと損傷を排除衝撃加熱と電子照射による極板への

を反映する二次スパッタリングマグネトロンスパッタリングにおける極板の「低温」特性。

電子の複雑な運動は、イオン化率と存在による高速スパッタリングを実現

磁場の。

特徴

モデル MSC-MR-X—X
コーティングタイプ 金属膜、金属酸化物、AlNなどの各種誘電体膜
塗装温度範囲 常温～500℃
コーティング真空チャンバーサイズ 700mm*750mm*700mm (カスタマイズ可能)
バックグラウンド真空 < 5×10-7mbar
コーティングの厚さ ≧10nm
厚み制御精度 ≦±3%
最大コーティングサイズ ≥ 100mm (カスタマイズ可能)
膜厚均一性 ≦±0.5%
基板キャリア 遊星回転機構付
対象物質 4×4インチ（4インチ以下対応）
電源 DC、パルス、RF、IF、バイアスなどの電源はオプションです
プロセスガス Ar、N2、O2
注: 利用できるカスタマイズされた生産。

コーティングサンプル

磁気記録の企業のための CoCr のマグネトロンの放出させるコータ

プロセスステップ

→コーティング用の基板を真空チャンバーに入れます。
→高温と低温で真空チャンバーを真空にし、基板を同期して回転させます。
→ コーティングの開始: 基板は、同時反応なしで順番に前駆体と接触します。
→各反応後に高純度窒素ガスでパージします。
→ 膜厚が基準に達し、パージと冷却の操作が完了したら、基板の回転を停止します。

真空破壊条件を満たしてから基板を取り出します。

私たちの利点

私たちはメーカーです。

成熟したプロセス。

24営業時間以内に返信してください。

当社の ISO 認証

磁気記録の企業のための CoCr のマグネトロンの放出させるコータ

当社の特許の一部

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原産地 :
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4 年数
sichuan, chengdu
ありがとうございました 2018
事業形態 :
Manufacturer, Exporter, Seller
主な製品 :
, ,
年間総額 :
＄10,000,000-＄15,000,000
従業員数 :
120~200
認証レベル :
Active Member
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