MachineU > 中国製品 > 機械 > 金属および冶金機械 > 金属コーティング機械
機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置
機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置
仕様
モデル番号 :
MSC-FF-X—X
原産地 :
中国、成都
最小注文数量 :
1セット
支払い条件 :
T/T
供給能力 :
ケースバイケース
納期 :
ケースバイケース
パッケージの詳細 :
木製ケース
重さ :
カスタマイズ可能
サイズ :
カスタマイズ可能
カスタマイズ可能 :
利用可能
保証期間 :
ケースバイケース1年
発送条件 :
海/空/マルチモーダル輸送
記述

機能性フィルム分野におけるマグネトロンスパッタリング成膜

アプリケーション

アプリケーション 特定の目的 材料の種類
機能性フィルム 超硬膜 TiN、TiC

遮光フィルム

 Cr、AlSi、AlTiなど
抵抗膜 NiCrSi、CrSi、MoTaなど
超電導膜 YbaCuO、BiSrCaCuO
磁性フィルム Fe、Co、Ni、FeMn、FeNiなど

動作原理

マグネトロン スパッタリングには、動作原理と適用対象が異なるさまざまな種類があります。しかし、そこに

1 つの共通点があります。

これにより、アルゴンに衝突する電子から発生するイオンを生成する確率が増加します。

生成されたイオンは、電界の作用下でターゲット表面に衝突し、ターゲット材料をスパッタします。

特徴

モデル MSC-FF-X—X
コーティングタイプ 金属膜、金属酸化物、AlNなどの各種誘電体膜
塗装温度範囲 常温～500℃
コーティング真空チャンバーサイズ 700mm*750mm*700mm (カスタマイズ可能)
バックグラウンド真空 < 5×10-7mbar
コーティングの厚さ ≧10nm
厚み制御精度 ≦±3%
最大コーティングサイズ ≥ 100mm (カスタマイズ可能)
膜厚均一性 ≦±0.5%
基板キャリア 遊星回転機構付
対象物質 4×4インチ（4インチ以下対応）
電源 DC、パルス、RF、IF、バイアスなどの電源はオプションです
プロセスガス Ar、N2、O2
注: 利用できるカスタマイズされた生産。

コーティングサンプル

機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置

プロセスステップ

→コーティング用の基板を真空チャンバーに入れます。

→おおまかに真空引き。

→ 分子ポンプをオンにし、真空にする最高速度で、次に公転と回転をオンにします。

→ 真空チャンバー内の温度が設定温度になるまで加熱目標;

→一定の温度制御を実装します。

→きれいな要素;

→回転して原点に戻る。

→ プロセス要件に従ってフィルムをコーティングします。

→ 温度を下げ、コーティング後にポンプ アセンブリを停止します。

→次の場合は作業を停止します自動運転終了。

私たちの利点

私たちはメーカーです。

成熟したプロセス。

24営業時間以内に返信してください。

当社の ISO 認証

機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置

当社の特許の一部

機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置

研究開発の賞と資格の一部

機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置

このサプライヤーにメッセージを送信します
今 送れ

機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置

最新価格を尋ねる
ビデオ を 見る
製品詳細
モデル番号 :
MSC-FF-X—X
原産地 :
中国、成都
最小注文数量 :
1セット
支払い条件 :
T/T
供給能力 :
ケースバイケース
納期 :
ケースバイケース
連絡するサプライヤー
ビデオ
機能性フィルム分野における超硬膜マグネトロンスパッタリング成膜装置

ZEIT Group

Active Member
4 年数
sichuan, chengdu
ありがとうございました 2018
事業形態 :
Manufacturer, Exporter, Seller
主な製品 :
, ,
年間総額 :
＄10,000,000-＄15,000,000
従業員数 :
120~200
認証レベル :
Active Member
似た商品を 探す
もっと見る
関連動画を見る

類別別で類似した商品を検索:

供給者のホームページ 製品
MachineU 中国製品 機械 金属および冶金機械 金属コーティング機械
連絡するサプライヤー
提出する要件