MachineU > 中国製品 > 機械 > 金属および冶金機械 > 金属コーティング機械
ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン
ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン
仕様
モデル番号 :
MSC-D-X—X
原産地 :
中国、成都
最小注文数量 :
1セット
支払い条件 :
T/T
供給能力 :
ケースバイケース
納期 :
ケースバイケース
パッケージの詳細 :
木製ケース
重さ :
カスタマイズ可能
サイズ :
カスタマイズ可能
カスタマイズ可能 :
利用可能
保証期間 :
ケースバイケース1年
発送条件 :
海/空/マルチモーダル輸送
記述

ディスプレイ産業におけるマグネトロン スパッタリング成膜

アプリケーション

アプリケーション 特定の目的 材料の種類
画面 透明導電膜 ITO(In2O; -SnO2)
電極配線フィルム Mo、W、Cr、Ta、Ti、Al、AlTi、AITa
電界発光フィルム ZnS-Mn、ZnS-Tb、CaS-Eu、Y2〇3、タ2〇5、BaTiO3

動作原理

一般的な物理蒸着 (PVD) 法として、マグネトロン スパッタリングには、低コストなど多くの利点があります。

堆積温度、急速な堆積速度、および堆積膜の良好な均一性。従来のスパッタリング

技術は次のように機能します。高真空環境では、入射イオン (Ar+) がターゲットに衝撃を与えます。

ターゲット表面の中性原子または分子が離れるのに十分な運動エネルギーを得るための電場の作用

ターゲット表面に付着し、基板表面に堆積して膜を形成します。ただし、電子は次の作用でドリフトします。

電場および磁場、その結果、スパッタリング効率が低下します。短い電子衝撃経路はまた、

基板温度の上昇。スパッタリング効率を高めるために、強力な磁石が下部に設置されています。

中心と円周にそれぞれ N 極と S 極を持つターゲット。電子はターゲットの周りに束縛されています

ローレンツ力の作用により、常に円を描いて移動し、より多くの Ar+ を生成してターゲットを砲撃し、最終的には大きく

スパッタリング効率を高めます。

特徴

モデル MSC-DX—X
コーティングタイプ 金属膜、金属酸化物、AlNなどの各種誘電体膜
塗装温度範囲 常温～500℃
コーティング真空チャンバーサイズ 700mm*750mm*700mm (カスタマイズ可能)
バックグラウンド真空 < 5×10-7mbar
コーティングの厚さ ≧10nm
厚み制御精度 ≦±3%
最大コーティングサイズ ≥ 100mm (カスタマイズ可能)
膜厚均一性 ≦±0.5%
基板キャリア 遊星回転機構付
対象物質 4×4インチ（4インチ以下対応）
電源 DC、パルス、RF、IF、バイアスなどの電源はオプションです
プロセスガス Ar、N2、O2
注: 利用できるカスタマイズされた生産。

コーティングサンプル

ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン

プロセスステップ

→コーティング用の基板を真空チャンバーに入れます。

→おおまかに真空引き。

→分子ポンプをオンにし、最高速度で真空にし、公転と自転をオンにします。

→ 温度が目標に達するまで真空チャンバーを加熱します。

→一定の温度制御を実装します。

→きれいな要素;

→回転して原点に戻る。

→ プロセス要件に従ってフィルムをコーティングします。

→ 温度を下げ、コーティング後にポンプ アセンブリを停止します。

→自動運転が終了したら作業を停止します。

私たちの利点

私たちはメーカーです。

成熟したプロセス。

24営業時間以内に返信してください。

当社の ISO 認証

ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン

当社の特許の一部

ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシンディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン

研究開発の賞と資格の一部

ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシンディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン

このサプライヤーにメッセージを送信します
今 送れ

ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン

最新価格を尋ねる
ビデオ を 見る
製品詳細
モデル番号 :
MSC-D-X—X
原産地 :
中国、成都
最小注文数量 :
1セット
支払い条件 :
T/T
供給能力 :
ケースバイケース
納期 :
ケースバイケース
連絡するサプライヤー
ビデオ
ディスプレイ産業用ITOマグネトロンスパッタリングコーティングマシン

ZEIT Group

Active Member
4 年数
sichuan, chengdu
ありがとうございました 2018
事業形態 :
Manufacturer, Exporter, Seller
主な製品 :
, ,
年間総額 :
＄10,000,000-＄15,000,000
従業員数 :
120~200
認証レベル :
Active Member
似た商品を 探す
もっと見る
関連動画を見る

類別別で類似した商品を検索:

供給者のホームページ 製品
MachineU 中国製品 機械 金属および冶金機械 金属コーティング機械
連絡するサプライヤー
提出する要件