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治療のための Al2O3 TiO2 マグネトロン スパッタリング蒸着システム
治療のための Al2O3 TiO2 マグネトロン スパッタリング蒸着システム
仕様
モデル番号 :
MSC-MT-X—X
原産地 :
中国、成都
最小注文数量 :
1セット
支払い条件 :
T/T
供給能力 :
ケースバイケース
納期 :
ケースバイケース
パッケージの詳細 :
木製ケース
重さ :
カスタマイズ可能
サイズ :
カスタマイズ可能
カスタマイズ可能 :
利用可能
保証期間 :
ケースバイケース1年
発送条件 :
海/空/マルチモーダル輸送
記述

医療産業におけるマグネトロンスパッタリング成膜


アプリケーション

アプリケーション 特定の目的 材料の種類
医療 生体適合性材料 アル2〇3、TiO2


動作原理
マグネトロンスパッタリングの基本原理は、電子が飛来する過程でアルゴン原子に衝突することです。

の電界の作用下で基板、生成されたアルゴン イオンがターゲット表面に衝突します。エネルギーの後に

両替、ターゲット表面の原子は元の格子から脱出します基板に転写されます

膜を形成する表面。

特徴

モデル MSC-MT-X—X
コーティングタイプ 金属膜、金属酸化物、AlNなどの各種誘電体膜
塗装温度範囲 常温～500℃
真空コーティングチャンバーsiぜ 700mm * 750mm * 700mm (カスタマイズ可能)
バックグラウンド真空 < 5×10-7mbar
コーティングの厚さ ≧10nm
厚み制御精度 ≦±3%
最大コーティングサイズ ≥ 100mm (カスタマイズ可能)
膜厚均一性 ≦±0.5%
基板キャリア 遊星回転機構付
対象物質 4×4インチ（4インチ以下対応）
電源 DC、パルス、RF、IF、バイアスなどの電源はオプションです
プロセスガス Ar、N2、O2
注: 利用できるカスタマイズされた生産。


コーティングサンプル

治療のための Al2O3 TiO2 マグネトロン スパッタリング蒸着システム

プロセスステップ
→コーティング用の基板を真空チャンバーに入れます。
→おおまかに真空引き。
→分子ポンプをオンにし、最高速度で真空にし、公転と自転をオンにします。
→ 温度が目標に達するまで真空チャンバーを加熱します。
→一定の温度制御を実装します。
→きれいな要素;
→回転して原点に戻る。
→ プロセス要件に従ってフィルムをコーティングします。
→ 温度を下げ、コーティング後にポンプ アセンブリを停止します。
→自動操作が終了したら作業を停止します。

私たちの利点
私たちはメーカーです。
成熟したプロセス。
24営業時間以内に返信してください。

当社の ISO 認証
治療のための Al2O3 TiO2 マグネトロン スパッタリング蒸着システム

当社の特許の一部
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研究開発の賞と資格の一部
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製品詳細
モデル番号 :
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原産地 :
中国、成都
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支払い条件 :
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供給能力 :
ケースバイケース
納期 :
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4 年数
sichuan, chengdu
ありがとうございました 2018
事業形態 :
Manufacturer, Exporter, Seller
主な製品 :
, ,
年間総額 :
＄10,000,000-＄15,000,000
従業員数 :
120~200
認証レベル :
Active Member
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