仕様
産地 :
中国
モデル番号 :
サファイア・ウェーファー 6' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um
最小注文数量 :
20
支払条件 :
T/T、ウェスタンユニオン
供給能力 :
毎月10000
配達時間 :
3-4週
パッケージの詳細 :
カートンボックス
材料 :
>99.99% サファイア
Orientation :
C平面 (0001)
Diamater :
150±0.2mm
厚さ :
1000±10um
ワープ :
≤20um
身をかがめる :
-15um≤BOW≤0
TTV :
< 10="" um="">
磨いたもの :
sspかdsp
記述

サファイア・ウェーファー 6インチ 直径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面 99.99%純

 

6インチ直径のサファイア・ウェーバーは 精密設計の単結晶Al2O3基板で 半導体の要求に応用するために設計されています1mm 標準厚さ1000±15μm,これらのC平面 (0001) 向きのウエファは,以下の点で優れた性能を提供します.

  • GaNベースのLEDと電源装置の生産
  • 高周波RFコンポーネント
  • 先進的な光学システム

 

サファイア・ウェーファー 6'' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面

 


 

 

仕様

 

パラメータ

仕様

直径 150.0 ±0.1 mm
厚さ 1000 ± 10 μm
オリエンテーション (0001) ±0.15°
TTV < 10 μm
ワープ ≤20 μm
身をかがめる -15um≤BOW≤0
ワープ < 10 μm

 


 

サファイア ワッフル の 用途

 

オプトエレクトロニクスにおけるサファイア・ウェーファー

  • マイクロLEDディスプレイ
  • 紫外線消毒装置
  • 高明度の照明

 

パワー エレクトロニクス の サファイア ワッフル

  • 5G/6G用のGaN HEMT
  • EV電源モジュール
  • レーダーシステム

 

サファイア ワッフル と 発展 し て いる テクノロジー

  • 量子点装置
  • MEMS共鳴器
  • フォトンセンサー

 

 

サファイア・ウェーファー 6'' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面

 


 

主要 な 特徴サファイア・ウェーファー

 

1サファイア・ウェーファーの優れた熱性能

  • 高熱伝導性: 35 W/m·K @ 25°C
  • 低CTE:5.3×10−6/K (25-500°C)
  • 熱ショック耐性: ΔT > 500°C に耐える

 

2サファイア・ワッフルオプティカル・エクセレンス

  • ブロードバンド送信: 85%@250nm → 92%@450nm → 90%@4000nm
  • 最小の二折り:<3nm/cm @633nm
  • レーザーグレードのポリス: PV <λ/4 @633nm

 

 

3サファイア・ワッフル機械的な強さ

  • 極度の硬さ: 2000 HV (モハス9度)
  • 高い屈曲強度: 700±50 MPa
  • ユングモジュール: 400 GPa

 

4サファイア・ワッフル製造上の利点

  • 直径制御: 150.0±0.1mm (6インチツールと互換性)
  • 厚さのオプション: 430-1000μm
  • エッジプロファイリング: SEMI 規格に従ってノッチまたはレーザーマーク

 


 

サファイア・ウェーファー製造プロセス

 

1精度の切断処理を容易にするために,切断機上のサファイア結晶棒の位置を正確に位置付け


サファイア・ウェーファー 6'' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面

 

2切る: サファイア結晶棒を薄いウエーファーに切る

 

サファイア・ウェーファー 6'' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面
 

3. 磨き: 切断によって引き起こされるチップ切断ダメージ層を削除し,ウエファの平らさを改善

 

サファイア・ウェーファー 6'' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面

 

4シャムファリング: ストレスの集中によって引き起こされる欠陥を避けるために,ワッファーエッジの機械的強度を向上させるために,ワッファーエッジを円形弧にカット

 

サファイア・ウェーファー 6'' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面

 

5磨き: 表面の精度に達するために,ウエファーの荒さを向上させる

 

サファイア・ウェーファー 6'' 半径 150mm±0.1mm 厚さ 1000um C平面

 

6浄化: ウェーファー表面の汚染物質 (塵粒,金属,有機汚染物質など) を除去する

 

7品質検査: 質 (平らさ,表面の塵粒子など) は,顧客の要求を満たすために高精度試験装置で検査されなければならない.

 

 

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