A63.7004 卓上型走査電子顕微鏡 (SEM)、タングステンから LaB6 への銃のアップグレード、数多くの革新的な技術を組み込み、優れた画像性能だけでなく、ポータビリティも提供し、幅広い用途のニーズに対応します。 国内外で、ZEM シリーズは、そのハイエンドなポジショニングと多様なモデルにより、画像鮮明度、ユーザーフレンドリーさ、システム統合において高度な基準を達成しています。
A63.7004 は、その高いレベルの統合と柔軟な構成オプションで有名です。 ユーザーインターフェースはシンプルで、習得と操作が容易で、専門家ではないユーザーでもすぐに習熟できます。 付属のソフトウェアは、サンプル準備、パラメータ調整から画像解析まで、ワークフロー全体をサポートし、統合された効率的なソリューションを提供します。A63.7004 は、新素材、新エネルギー、バイオメディカル、半導体など、複数の分野で強力な分析能力を発揮し、研究者が微視的な世界の謎を探求するのを支援しています。 優れたコストパフォーマンスにより、ZEM シリーズは、卓上型走査電子顕微鏡を求める多くの大学、研究機関、企業にとって好ましい選択肢となっています。
A63.7004 卓上 SEM は、より広い範囲の加速電圧 (1kV ステップ) を利用し、最大倍率 360,000x、最大解像度 5nm を実現しています。 卓上減速モードにより、金スプレーを必要とせずに、低導電性製品をリアルタイムで観察できます。 特大サンプルコンパートメントは、さまざまな実験および検査のニーズに対応するために、幅広いインサイチュ拡張プラットフォームと統合できます。 |
動作条件: 環境要件: 小型で、機械全体を通常の実験台に設置でき、追加の防振テーブルを装備する必要はありません。 1.電源 220V、50Hz、1KW 2.温度: 動作周囲温度: 15℃~30℃ 3.湿度:<80%RH |
主な仕様: 1. 加速電圧: 3~20kV、連続可変。 2. 電子銃タイプ: 事前調整済みの単結晶 LaB6 フィラメント、寿命 1500 時間、高度に統合された 2 段銃レンズ、対物レンズの絞りを手動で調整する必要はありません。 3. 倍率 ≥360000X; 4. 解像度:≤3nm@20KV 5. 検出器: 二次電子検出器 (SE)、四重後方散乱電子検出器 (BSE) 6. ステージ: 2 軸 XY 電動ステージ、移動 60x55mm; 7. 最大サンプルサイズ: 100*78*68.5mm (XY 軸が自由に移動) 8. サンプル交換と高真空ポンピング時間≤ 90 秒。 9. 高真空システム: メカニカルポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプ、サンプルチャンバー内の真空 ≥4x10-2Pa、全自動制御; 10. ビデオモード ≥512x512 ピクセル、小窓スキャンは不要。 11. クイックスキャンモード: 撮像時間≤3 秒、512x512 ピクセル。 12. スロースキャンモード: 撮像時間≤40 秒、2048x2048 ピクセル。 13. 画像ファイル: BMP、TIFF、JPEG、PNG。 14. ワンキー自動輝度・コントラスト調整、オートフォーカス、大画像ステッチ 15. ナビゲーション機能: 光学カメラナビゲーションとキャビンカメラ。 16. 画像測定機能: 距離、角度など。 17. コンピュータとソフトウェア、マウス制御を含む。 18. オプション: --タングステンフィラメント (20 個/箱) --EDS --3 軸電動ステージ XYZ --3 軸電動ステージ XYT --5 軸電動ステージ XYZRT --低真空 (1-60Pa) --オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど --減速モード、1-10KV、金スプレーなしで非導電性または低導電性サンプルを観察可能、BSE モードのみ --防振プラットフォーム (A63.7004 に推奨) 19. 顕微鏡サイズ 650*370*642mm、メカニカルポンプサイズ 340*160*140mm |
モデル | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
解像度 | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
倍率 | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
電子銃 | タングステン | タングステン | タングステン | LaB6 | Schotty FEG |
電圧 | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
検出器 | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
ナビゲーション CCD | CCD | CCD | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ |
真空時間 | 90 秒 | 90 秒 | 30 秒 | 90 秒 | 180 秒 |
真空システム | メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプ x2 |
真空 | 高真空 1x10-1Pa |
高真空 1x10-1Pa |
高真空 1x10-1Pa |
高真空 5x10-4Pa |
高真空 5x10-4Pa |
ステージ | XY ステージ、 40x30/40x40mm |
XY ステージ、 40x30/40x40mm |
XY ステージ、 60x55mm |
XY ステージ、 60x55mm |
XY ステージ、 60x55mm |
ステージ精度 | - | 位置精度 5um | |||
作動距離 | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
最大サンプル | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
オプション | タングステンフィラメント 20 個/箱 | Lab6 フィラメント | 電界放出ランプ | ||
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | |||||
- | 低真空 1-100Pa | 低真空 1-30Pa | |||
- | Z 軸モジュール | 3 軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、Z 25mm | |||
- | T 軸モジュール | 3 軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、T ±20° | |||
- | - | 5 軸ステージ、X 90mm、Y 50mm、Z 25mm、T ±20°、R 360° | |||
- | - | 防振プラットフォーム、3 軸、5 軸ステージ用 | |||
- | 減速モード 1-10KV、非導電性サンプルを観察、BSE のみ | ||||
- | オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど | ||||
UPS |
▶ TTM 用 AZtecOne with XploreCompact 30
システム従来の EDS 分析 このシステムは、さまざまな材料の定性および定量分析を提供し、B(5) から cf (98) までの元素を分析します。 サンプル表面の個々のポイントスキャンに加えて、強力なラインスキャンと元素スペクトルスキャンも利用できます。 カスタマイズされた検出器と組み合わせることで、分析とレポート作成を数秒で行うことができます。 |
有効結晶面積 | 30mm2 | 解像度 (写真の) | Mn Ka<129eV @50,000cps |
元素検出範囲 | B (5) から cf (98) | 最大入力カウントレート | >1,000,000 cps |