仕様
記述
  • 倍率200000倍 解像度6nm@18KV(SE) SE+BSE+CCD検出器付き、オプションEDS
  • 標準2軸電動ステージ、移動X 40mm、Y30mm、最大試料Ф50xH35mm
  • 内蔵コンデンサ、手動アパーチャ調整不要(LaB6オプション)
  • 高真空システム、機械式ロータリーポンプで90秒で真空に
  • ワンキー自動フォーカス、自動輝度・コントラスト調整、防振テーブル不要
OPTO-EDU A63.7002 タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡 SE BSE 200000x 6nm@18KV(SE)
OPTO-EDU A63.7002 タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡 SE BSE 200000x 6nm@18KV(SE)

優れた性能、高速イメージング、多様な信号ZEM18卓上型走査電子顕微鏡信号取得帯域幅最大10M、高速走査速度、ビデオモードでのサンプルのリアルタイム観察、ゴーストや引きずりなし、細部を見逃さない。さまざまなZEP.TOOLSのin-situ機能性サンプルステージに対応。

主な仕様:

1. 加速電圧:3-18kV、連続可変。

2. 電子銃タイプ:事前調整されたタングステンフィラメント、寿命100時間、ユーザーが簡単に交換可能、高度に統合された2段銃レンズ、対物レンズの絞りを手動で調整する必要はありません。

3. 倍率≥200000X

4. 解像度:≤6nm@18KV

5. 検出器:二次電子検出器(SE)、四重後方散乱電子検出器(BSE)、

6. ステージ:2軸XY電動ステージ、移動40x30mm(40x40mmオプション)

7. 最大サンプルサイズ: 80x42x40mm

8. サンプル交換と高真空ポンピング時間≤ 90秒。

9. 高真空システム:内蔵ターボ分子ポンプ、外部機械ポンプ、 サンプルチャンバー内の真空≥1x10-1Pa、全自動制御;

10. ビデオモード≥512x512ピクセル、小窓走査は不要。

11. クイックスキャンモード:イメージング時間≤3秒、512x512ピクセル。

12. スロースキャンモード:イメージング時間≤40秒、2048x2048ピクセル。

13. 画像ファイル:BMP、TIFF、JPEG、PNG。

14. ワンキー自動輝度・コントラスト調整、オートフォーカス、大画像ステッチ

15. ナビゲーション機能:光学カメラナビゲーションとキャビンカメラ。

16. 画像測定機能:距離、角度など。

17. コンピュータとソフトウェア、マウス制御を含む。

18. オプション:

--タングステンフィラメント(20個/箱)

--EDS

--低真空(1-100Pa)

--Z軸、T軸モジュール

--減速モード、1-10KV、金スプレーなしで非導体または導電性の低いサンプルを観察可能、BSEモードのみ

--オリジナル工場からのIn-Situステージ、加熱、冷却、ストレッチなど

19.顕微鏡サイズ:283*553*505mm、機械ポンプサイズ340*160*140mm

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モデル A63.7001 A63.7002 A63.7003 A63.7004 A63.7005
解像度 10nm@15KV 6nm@18KV 4nm@20KV 3nm@20KV 2.5nm@15KV
倍率 150000x 200000x 360000x 360000x 1000000x
電子銃 タングステン タングステン タングステン LaB6 Schotty FEG
電圧 5/10/15KV 3-18KV 3-20KV 3-20KV 1-15KV
検出器 BSE+SE BSE+SE BSE+SE BSE+SE BSE+SE
ナビゲーションCCD CCD CCD CCD+キャビンカメラ CCD+キャビンカメラ CCD+キャビンカメラ
真空時間 90秒 90秒 30秒 90秒 180秒
真空システム 機械ポンプ
分子ポンプ
機械ポンプ
分子ポンプ
機械ポンプ
分子ポンプ
機械ポンプ
分子ポンプ
イオンポンプ
機械ポンプ
分子ポンプ
イオンポンプx2
真空 高真空
1x10-1Pa
高真空
1x10-1Pa
高真空
1x10-1Pa
高真空
5x10-4Pa
高真空
5x10-4Pa
ステージ XYステージ、
40x30/40x40mm
XYステージ、
40x30/40x40mm
XYステージ、
60x55mm
XYステージ、
60x55mm
XYステージ、
60x55mm
ステージ精度 - 位置精度5um
作動距離 5-35mm 5-35mm 5-73.4mm 5-73.4mm 5-73.4mm
最大試料 80x42x40mm 80x42x40mm 100x78x68.5mm 100x78x68.5mm 100x78x68.5mm
オプション タングステンフィラメント20個/箱 Lab6フィラメント 電界放出ランプ
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30
- 低真空 1-100Pa 低真空1-30Pa
- Z軸モジュール 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、Z 25mm
- T軸モジュール 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、T ±20°
- - 5軸ステージ、X 90mm、Y 50mm、Z 25mm、T ±20°、R 360°
- - 防振プラットフォーム、3軸、5軸ステージ用
- 減速モード1-10KV、非導電性サンプル観察用、BSEのみ
- オリジナル工場からのIn-Situステージ、加熱、冷却、ストレッチなど
UPS
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TTM用AZtecOne with XploreCompact 30

システム従来型EDS分析

このシステムは、B(5)からcf(98)までの元素を分析し、さまざまな材料の定性および定量分析を提供します。サンプルの表面の個々のポイントスキャンに加えて、強力なラインスキャンと元素スペクトルスキャンも利用できます。カスタマイズされた検出器と組み合わせることで、分析とレポート作成を数秒で行うことができます。

有効結晶面積 30mm2 解像度(写真の) Mn Ka <129eV @50,000cps
元素検出範囲 B (5) to cf (98) 最大入力カウントレート >1,000,000 cps
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