仕様
記述
  • 倍率 1000000x 解像度 2.5nm@15KV SE+BSE+CCD、オプションEDS
  • ショットキーFEGカートリッジ 電圧 1-15kV、標準検出器 SE、BSE、CCD、オプションEDS
  • 標準X/Y電動ステージ、オプション3軸X/Y/ZまたはX/Y/T、5軸X/Y/Z/R/T
  • 高真空システム:ターボ分子ポンプ、メカニカルポンプ、イオンビームx2、チャンバー内真空<5x10-4Pa
  • ワンキー自動フォーカス、自動輝度・コントラスト調整、防振テーブル不要
OPTO-EDU A63.7005 スコットキー場放射スキャニング電子顕微鏡 SE BSE 100000x 2.5nm@20KV
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主な仕様:

1. 加速電圧:1-15kV、連続可変。

2. 電子銃タイプ:ショットキー電界放出型電子銃(FEG)、高度に統合された2段銃レンズ、対物レンズの絞りを手動で調整する必要はありません。

3. 倍率 ≥1000000X

4. 解像度:≤2.5nm@15KV

5. 検出器:二次電子検出器(SE)、四重後方散乱電子検出器(BSE)、

6. ステージ:2軸XY電動ステージ、移動60x55mm

7. 最大サンプルサイズ: XY軸が自由に移動する場合、100*78*68.5mm

8. サンプル交換と高真空ポンピング時間≤ 180秒。

9. 高真空システム:メカニカルポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプx2、サンプルチャンバー内の真空≥4x10-2Pa、全自動制御;

10. ビデオモード≥512x512ピクセル、小窓スキャン不要。

11. クイックスキャンモード:画像取得時間≤3秒、512x512ピクセル。

12. スロースキャンモード:画像取得時間≤40秒、2048x2048ピクセル。

13. 画像ファイル:BMP、TIFF、JPEG、PNG。

14. ワンキー自動輝度・コントラスト調整、オートフォーカス、大画像ステッチング

15. ナビゲーション機能:光学カメラナビゲーションとキャビンカメラ。

16. 画像測定機能:距離、角度など。

17. コンピュータ&ソフトウェア、マウス制御を含む。

18. オプション:

--タングステンフィラメント(20個/箱)

--EDS

--3軸電動ステージXYZ

--3軸電動ステージXYT

--5軸電動ステージXYZRT

--低真空(1-60Pa)

--オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど

--減速モード、1-10KV、金スプレーなしで非導体または低導電性サンプルを観察可能、BSEモードのみ

--防振プラットフォーム(A63.7005を推奨)

19. 顕微鏡サイズ650*370*642mm、メカニカルポンプサイズ340*160*140mm

OPTO-EDU A63.7005 スコットキー場放射スキャニング電子顕微鏡 SE BSE 100000x 2.5nm@20KV
モデル A63.7001 A63.7002 A63.7003 A63.7004 A63.7005
解像度 10nm@15KV 6nm@18KV 4nm@20KV 3nm@20KV 2.5nm@15KV
倍率 150000x 200000x 360000x 360000x 1000000x
電子銃 タングステン タングステン タングステン LaB6 ショットキーFEG
電圧 5/10/15KV 3-18KV 3-20KV 3-20KV 1-15KV
検出器 BSE+SE BSE+SE BSE+SE BSE+SE BSE+SE
ナビゲーションCCD CCD CCD CCD+キャビンカメラ CCD+キャビンカメラ CCD+キャビンカメラ
真空時間 90秒 90秒 30秒 90秒 180秒
真空システム メカニカルポンプ
分子ポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
イオンポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
イオンポンプx2
真空 高真空
1x10-1Pa
高真空
1x10-1Pa
高真空
1x10-1Pa
高真空
5x10-4Pa
高真空
5x10-4Pa
ステージ XYステージ、
40x30/40x40mm
XYステージ、
40x30/40x40mm
XYステージ、
60x55mm
XYステージ、
60x55mm
XYステージ、
60x55mm
ステージ精度 - 位置精度5um
作動距離 5-35mm 5-35mm 5-73.4mm 5-73.4mm 5-73.4mm
最大サンプル 80x42x40mm 80x42x40mm 100x78x68.5mm 100x78x68.5mm 100x78x68.5mm
オプション タングステンフィラメント20個/箱 Lab6フィラメント 電界放出ランプ
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30
- 低真空 1-100Pa 低真空1-30Pa
- Z軸モジュール 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、Z 25mm
- T軸モジュール 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、T ±20°
- - 5軸ステージ、X 90mm、Y 50mm、Z 25mm、T ±20°、R 360°
- - 防振プラットフォーム、3軸、5軸ステージ用
- 減速モード1-10KV、非導電性サンプルを観察、BSEのみ
- オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど
UPS
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TTM用AZtecOne with XploreCompact 30

システム従来のEDS分析

このシステムは、B(5)からcf(98)までの元素を分析し、さまざまな材料の定性および定量分析を提供します。サンプル表面の個々のポイントスキャンに加えて、強力なラインスキャンと元素スペクトルスキャンも利用できます。カスタマイズされた検出器と組み合わせることで、分析とレポート作成を数秒で行うことができます。

有効結晶面積 30mm2 解像度(写真の) Mn Ka <129eV @50,000cps
元素検出範囲 B (5) to cf (98) 最大入力カウントレート >1,000,000 cps
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