主な仕様: 1. 加速電圧:1-15kV、連続可変。 2. 電子銃タイプ:ショットキー電界放出型電子銃(FEG)、高度に統合された2段銃レンズ、対物レンズの絞りを手動で調整する必要はありません。 3. 倍率 ≥1000000X; 4. 解像度:≤2.5nm@15KV 5. 検出器:二次電子検出器(SE)、四重後方散乱電子検出器(BSE)、 6. ステージ:2軸XY電動ステージ、移動60x55mm; 7. 最大サンプルサイズ: XY軸が自由に移動する場合、100*78*68.5mm 8. サンプル交換と高真空ポンピング時間≤ 180秒。 9. 高真空システム:メカニカルポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプx2、サンプルチャンバー内の真空≥4x10-2Pa、全自動制御; 10. ビデオモード≥512x512ピクセル、小窓スキャン不要。 11. クイックスキャンモード:画像取得時間≤3秒、512x512ピクセル。 12. スロースキャンモード:画像取得時間≤40秒、2048x2048ピクセル。 13. 画像ファイル:BMP、TIFF、JPEG、PNG。 14. ワンキー自動輝度・コントラスト調整、オートフォーカス、大画像ステッチング 15. ナビゲーション機能:光学カメラナビゲーションとキャビンカメラ。 16. 画像測定機能:距離、角度など。 17. コンピュータ&ソフトウェア、マウス制御を含む。 18. オプション: --タングステンフィラメント(20個/箱) --EDS --3軸電動ステージXYZ --3軸電動ステージXYT --5軸電動ステージXYZRT --低真空(1-60Pa) --オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど --減速モード、1-10KV、金スプレーなしで非導体または低導電性サンプルを観察可能、BSEモードのみ --防振プラットフォーム(A63.7005を推奨) 19. 顕微鏡サイズ650*370*642mm、メカニカルポンプサイズ340*160*140mm |
モデル | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
解像度 | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
倍率 | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
電子銃 | タングステン | タングステン | タングステン | LaB6 | ショットキーFEG |
電圧 | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
検出器 | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
ナビゲーションCCD | CCD | CCD | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ |
真空時間 | 90秒 | 90秒 | 30秒 | 90秒 | 180秒 |
真空システム | メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプx2 |
真空 | 高真空 1x10-1Pa |
高真空 1x10-1Pa |
高真空 1x10-1Pa |
高真空 5x10-4Pa |
高真空 5x10-4Pa |
ステージ | XYステージ、 40x30/40x40mm |
XYステージ、 40x30/40x40mm |
XYステージ、 60x55mm |
XYステージ、 60x55mm |
XYステージ、 60x55mm |
ステージ精度 | - | 位置精度5um | |||
作動距離 | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
最大サンプル | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
オプション | タングステンフィラメント20個/箱 | Lab6フィラメント | 電界放出ランプ | ||
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | |||||
- | 低真空 1-100Pa | 低真空1-30Pa | |||
- | Z軸モジュール | 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、Z 25mm | |||
- | T軸モジュール | 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、T ±20° | |||
- | - | 5軸ステージ、X 90mm、Y 50mm、Z 25mm、T ±20°、R 360° | |||
- | - | 防振プラットフォーム、3軸、5軸ステージ用 | |||
- | 減速モード1-10KV、非導電性サンプルを観察、BSEのみ | ||||
- | オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど | ||||
UPS |
▶ TTM用AZtecOne with XploreCompact 30
システム従来のEDS分析 このシステムは、B(5)からcf(98)までの元素を分析し、さまざまな材料の定性および定量分析を提供します。サンプル表面の個々のポイントスキャンに加えて、強力なラインスキャンと元素スペクトルスキャンも利用できます。カスタマイズされた検出器と組み合わせることで、分析とレポート作成を数秒で行うことができます。 |
有効結晶面積 | 30mm2 | 解像度(写真の) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
元素検出範囲 | B (5) to cf (98) | 最大入力カウントレート | >1,000,000 cps |