走査型電子顕微鏡(SEM)は、透過型電子顕微鏡(TEM)と光学顕微鏡の中間の観察手段です。
細く絞られた高エネルギー電子ビームでサンプルを走査し、ビームと物質の相互作用を通じて様々な物質を励起します。情報を収集、増幅、再イメージングすることで、材料の微細な形態を特徴付ける目的を達成します。操作の容易さ、高速イメージング、安定した性能という設計目標を遵守し、OPTO-EDUはタングステンフィラメントデスクトップスキャナーを独自に開発しました。 A63.7001走査型電子顕微鏡は、高速走査速度と10Mの信号取得帯域幅を備えており、ビデオモードでサンプルをスムーズかつリアルタイムに表示できます。すべての操作はマウスで完了でき、ダイアフラムの中心合わせなどの複雑な手順は必要ありません。フォーカスと非点収差の除去後、直接写真を撮ることができます。ホストは高電圧と制御システムを統合しており、小型で移動が容易で、設置に特別な環境は必要ありません。テーブルを見つけて電源を接続するだけで、作業を開始できます。 |
主な仕様: 1. 加速電圧:5KV/10KV/15KV 2. 電子銃タイプ:プリアライメントタングステンフィラメント、寿命100時間、ユーザーが簡単に交換可能、高度に統合された2段銃レンズ、対物レンズのダイアフラムを手動で調整する必要はありません。 3. 倍率 ≥150000X; 4. 解像度:≤10nm@15KV 5. 検出器:二次電子検出器(SE)、四重後方散乱電子検出器(BSE)、 6. ステージ:2軸XY電動ステージ、移動40x30mm(オプション40x40mm); 7. 最大サンプルサイズ: 80x42x40mm 8. サンプル交換と高真空ポンピング時間≤ 90秒。 9. 高真空システム:内蔵ターボ分子ポンプ、外部メカニカルポンプ、 サンプルチャンバー内の真空度≥1x10-1Pa、全自動制御; 10. ビデオモード≥512x512ピクセル、小窓走査は不要。 11. クイックスキャンモード:イメージング時間≤3秒、512x512ピクセル。 12. スロースキャンモード:イメージング時間≤40秒、2048x2048ピクセル。 13. 画像ファイル:BMP、TIFF、JPEG、PNG。 14. ワンキー自動輝度・コントラスト調整、自動フォーカス。 15. ナビゲーション機能:光学カメラナビゲーションとキャビンカメラ。 16. 画像測定機能:距離、角度など。 17. コンピュータとソフトウェア、マウス制御を含む。 18. オプション: --タングステンフィラメント(20個/箱) --EDS 19.顕微鏡サイズ:283*553*505mm、メカニカルポンプサイズ340*160*140mm |
モデル | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
解像度 | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
倍率 | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
電子銃 | タングステン | タングステン | タングステン | LaB6 | Schotty FEG |
電圧 | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
検出器 | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
ナビゲーションCCD | CCD | CCD | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ | CCD+キャビンカメラ |
真空時間 | 90秒 | 90秒 | 30秒 | 90秒 | 180秒 |
真空システム | メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプ |
メカニカルポンプ 分子ポンプ イオンポンプx2 |
真空 | 高真空 1x10-1Pa |
高真空 1x10-1Pa |
高真空 1x10-1Pa |
高真空 5x10-4Pa |
高真空 5x10-4Pa |
ステージ | XYステージ、 40x30/40x40mm |
XYステージ、 40x30/40x40mm |
XYステージ、 60x55mm |
XYステージ、 60x55mm |
XYステージ、 60x55mm |
ステージ精度 | - | 位置精度5um | |||
作動距離 | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
最大試料 | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
オプション | タングステンフィラメント20個/箱 | Lab6フィラメント | 電界放出ランプ | ||
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | |||||
- | 低真空 1-100Pa | 低真空1-30Pa | |||
- | Z軸モジュール | 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、Z 25mm | |||
- | T軸モジュール | 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、T ±20° | |||
- | - | 5軸ステージ、X 90mm、Y 50mm、Z 25mm、T ±20°、R 360° | |||
- | - | 防振プラットフォーム、3軸、5軸ステージ用 | |||
- | 減速モード1-10KV、非導電性サンプル観察用、BSEのみ | ||||
- | オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど | ||||
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