仕様
記述
  • 倍率150000x 解像度10nm@15KV 検出器SE+BSE+CCD、オプションEDS
  • 標準2軸XY電動ステージ、移動40x30mm(オプション40x40mm)
  • 最大試料サイズ80x42x40mm、作動距離5-35mm
  • 高真空1x10-1Paチャンバー内、メカニカルポンプ、分子ポンプ付き
  • ワンキー自動フォーカス、自動輝度・コントラスト調整、防振テーブル不要
OPTO-EDU A63.7001 タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡 SE BSE 150000x 10nm@15KV
OPTO-EDU A63.7001 タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡 SE BSE 150000x 10nm@15KV

走査型電子顕微鏡(SEM)は、透過型電子顕微鏡(TEM)と光学顕微鏡の中間の観察手段です。

細く絞られた高エネルギー電子ビームでサンプルを走査し、ビームと物質の相互作用を通じて様々な物質を励起します。情報を収集、増幅、再イメージングすることで、材料の微細な形態を特徴付ける目的を達成します。操作の容易さ、高速イメージング、安定した性能という設計目標を遵守し、OPTO-EDUはタングステンフィラメントデスクトップスキャナーを独自に開発しました。

A63.7001走査型電子顕微鏡は、高速走査速度と10Mの信号取得帯域幅を備えており、ビデオモードでサンプルをスムーズかつリアルタイムに表示できます。すべての操作はマウスで完了でき、ダイアフラムの中心合わせなどの複雑な手順は必要ありません。フォーカスと非点収差の除去後、直接写真を撮ることができます。ホストは高電圧と制御システムを統合しており、小型で移動が容易で、設置に特別な環境は必要ありません。テーブルを見つけて電源を接続するだけで、作業を開始できます。

OPTO-EDU A63.7001 タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡 SE BSE 150000x 10nm@15KV

主な仕様:

1. 加速電圧:5KV/10KV/15KV

2. 電子銃タイプ:プリアライメントタングステンフィラメント、寿命100時間、ユーザーが簡単に交換可能、高度に統合された2段銃レンズ、対物レンズのダイアフラムを手動で調整する必要はありません。

3. 倍率 ≥150000X

4. 解像度:≤10nm@15KV

5. 検出器:二次電子検出器(SE)、四重後方散乱電子検出器(BSE)、

6. ステージ:2軸XY電動ステージ、移動40x30mm(オプション40x40mm)

7. 最大サンプルサイズ: 80x42x40mm

8. サンプル交換と高真空ポンピング時間≤ 90秒。

9. 高真空システム:内蔵ターボ分子ポンプ、外部メカニカルポンプ、 サンプルチャンバー内の真空度≥1x10-1Pa、全自動制御;

10. ビデオモード≥512x512ピクセル、小窓走査は不要。

11. クイックスキャンモード:イメージング時間≤3秒、512x512ピクセル。

12. スロースキャンモード:イメージング時間≤40秒、2048x2048ピクセル。

13. 画像ファイル:BMP、TIFF、JPEG、PNG。

14. ワンキー自動輝度・コントラスト調整、自動フォーカス。

15. ナビゲーション機能:光学カメラナビゲーションとキャビンカメラ。

16. 画像測定機能:距離、角度など。

17. コンピュータとソフトウェア、マウス制御を含む。

18. オプション:

--タングステンフィラメント(20個/箱)

--EDS

19.顕微鏡サイズ:283*553*505mm、メカニカルポンプサイズ340*160*140mm

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モデル A63.7001 A63.7002 A63.7003 A63.7004 A63.7005
解像度 10nm@15KV 6nm@18KV 4nm@20KV 3nm@20KV 2.5nm@15KV
倍率 150000x 200000x 360000x 360000x 1000000x
電子銃 タングステン タングステン タングステン LaB6 Schotty FEG
電圧 5/10/15KV 3-18KV 3-20KV 3-20KV 1-15KV
検出器 BSE+SE BSE+SE BSE+SE BSE+SE BSE+SE
ナビゲーションCCD CCD CCD CCD+キャビンカメラ CCD+キャビンカメラ CCD+キャビンカメラ
真空時間 90秒 90秒 30秒 90秒 180秒
真空システム メカニカルポンプ
分子ポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
イオンポンプ
メカニカルポンプ
分子ポンプ
イオンポンプx2
真空 高真空
1x10-1Pa
高真空
1x10-1Pa
高真空
1x10-1Pa
高真空
5x10-4Pa
高真空
5x10-4Pa
ステージ XYステージ、
40x30/40x40mm
XYステージ、
40x30/40x40mm
XYステージ、
60x55mm
XYステージ、
60x55mm
XYステージ、
60x55mm
ステージ精度 - 位置精度5um
作動距離 5-35mm 5-35mm 5-73.4mm 5-73.4mm 5-73.4mm
最大試料 80x42x40mm 80x42x40mm 100x78x68.5mm 100x78x68.5mm 100x78x68.5mm
オプション タングステンフィラメント20個/箱 Lab6フィラメント 電界放出ランプ
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30
- 低真空 1-100Pa 低真空1-30Pa
- Z軸モジュール 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、Z 25mm
- T軸モジュール 3軸ステージ、X 60mm、Y 50mm、T ±20°
- - 5軸ステージ、X 90mm、Y 50mm、Z 25mm、T ±20°、R 360°
- - 防振プラットフォーム、3軸、5軸ステージ用
- 減速モード1-10KV、非導電性サンプル観察用、BSEのみ
- オリジナル工場からのインサイチュステージ、加熱、冷却、ストレッチなど
UPS
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