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セラミックディスク清掃・ワックシング 統合機械 自動化半導体産業
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仕様
産地 :
中国
サイズ :
7740×3390×2300mm (L×W×H)
電源 :
AC380V 50Hz 総電源 90KW
パネウマティック供給 :
2m3/h,0.4-0.5MPa 油のない乾燥空気
水 供給 :
2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm 抵抗力
記述

 

製品概要

 

このセラミックディスククリーニング&ワックスインテグレーテッドマシンは,1つのセラミックディスククリーナーと2つのセラミックディスクマウントを組み合わせています高効率の清掃とワッフルのワックス化のために設計された,サファイアおよび半導体産業安定した99.9%の収穫率を達成しました.

 

テクニカル仕様

 

パラメータ 価値
サイズ 7740×3390×2300mm (L×W×H)
電源 AC380V 50Hz 総電源 90KW
パネウマティック供給 2m3/h,0.4-0.5MPa 油のない乾燥空気
水 供給 2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm 抵抗力

 

 

作業原理

陶磁盤の清掃段階

  • 精密 清掃: 陶磁盤からマイクロレベル汚染物質を除去するために,離子化水 (≥12MΩ·cm) で超音波浄化を使用します.

  • 乾燥システム: 高効率の空気ナイフと真空乾燥により,残留湿度はゼロになります.

自動化 ワックス 処理

  • 視力の調整: CCDカメラはディスク表面の座標をスキャンし,定位精度は ±0.02mm に達します.

  • 制御されたワックス堆積: プログラム可能なワックス配送頭で,ワックスを0.8g±0.05gをワフル1個に塗ります.

  • 圧力の最適化: パネウマティックアクチュエータは,ウエフルのマウント中に5〜10N/cm2の均等な接触圧を維持する.

統合制御

  • 同期操作: PLCは,洗浄モジュールとダブルワックスステーションを調整し,並行処理 (最大30ディスク/時間) を可能にします.

  • 質の高いフィードバック: リアルタイム厚さセンサーは,ワックス層の均一性を検出し,偏差が ± 3%を超えるとパラメータを自動的に調整します.

主要 な 利点

  • エネルギー 効率: 純粋な水のリサイクル率>80%,ワックス消費量0.8g/ワッフル,ディスクあたりエネルギー35%低

  • スマート接続: MES/ERPと互換性があり,全プロセスデータの追跡可能性 (厚さ/圧力/時間)

  • 拡張性Φ300~650mmの非標準ディスクのためのカスタマイズ可能なツールとレシピ

生産能力

ワッフルサイズ ディスク直径 量 サイクルの時間
4インチ Φ485mm 11個 5分/ディスク
4インチ Φ576mm 13個 6分/ディスク
6インチ Φ485mm 6個 3分/ディスク
6インチ Φ576mm 8個 4分/ディスク
8インチ Φ485mm 3個 2分/ディスク
8インチ Φ576mm 5個 3分/ディスク

 

 

申請

完全プロセスセラミックディスク処理: 片機で清掃→乾燥→ワックス

 

シリコンカービード (SiC),シリコン (Si),ガリウムナトリド (GaN) のような半導体材料の加工に使用され,サファイア,陶器,結晶,MEMSオプティカル製品

 

セラミックディスク清掃・ワックシング 統合機械 自動化半導体産業

 

Q&A

Q1: 収益率をどのように確保するか?
A1: セラミックディスクの専用ビジョンシステムは,リアルタイムで ±0.02mmの準位精度を達成します.

 

Q2:セラミックディスクの水消費量?
A2: 水回帰率 > 80%,消費量 ≤0.5L/disc

 

Q3: ワッフルサイズを迅速に変更するにはどうすればよいですか?
A3: 組み込まれたマシンのスマート・フィクチャー・ライブラリでは,HMI選択によって自動でツールを切り替える (切り替える時間 <3分).

 

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製品詳細
産地 :
中国
サイズ :
7740×3390×2300mm (L×W×H)
電源 :
AC380V 50Hz 総電源 90KW
パネウマティック供給 :
2m3/h,0.4-0.5MPa 油のない乾燥空気
水 供給 :
2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm 抵抗力
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SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD

Verified Supplier
7 年数
shanghai, shanghai
ありがとうございました 2013
事業形態 :
Manufacturer, Agent, Importer, Exporter, Trading Company
主な製品 :
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年間総額 :
1000000-1500000
認証レベル :
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