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基準平面の調整のためのX線結晶指向装置
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基準平面の調整のためのX線結晶指向装置
仕様
産地 :
中国
最低注文量 :
1
支払条件 :
t/t
供給能力 :
場合によって
配達時間 :
2〜4週間
パッケージの詳細 :
カスタムカートン
電源 :
AC 220V,50Hz,0.25kW (単相)
X線管 :
銅の標的,扇風機冷却,アースされたアノード
方位角 :
θ = 18.917° (18°55′00″)
X線シャッター :
オートマティック
表示 :
放射線量計
サイズ :
1132 mm (L) × 642 mm (W) × 1460 mm (H)
記述

製品概要:

このX線結晶方位測定装置は、X線回折技術を用いて単結晶ロッドの基準面の高精度な位置合わせを行うように設計されています。直径2、4、6インチのロッドの主要な結晶面（一般的に面）の位置合わせが可能です。C面やR面などの標準およびカスタムの配向をサポートしており、さまざまな半導体および結晶加工用途に適しています。

基準平面の調整のためのX線結晶指向装置 基準平面の調整のためのX線結晶指向装置

主な特徴:

技術仕様:

項目 仕様
電源 AC 220V、50Hz、単相、0.25kW
X線管 銅ターゲット、ファン冷却、接地アノード
最大管電圧/電流 30kV / 5mA（連続調整可能）
推奨電流制限 ≤ 2.0mA（損傷および放射線リスクを防止するため）
検出器タイプ カウンター（最大DC 1000V）またはシンチレーション検出器（最大DC 1200V）
時定数 2レベル：高速（1）/低速（2）
配向角度（θ） 18.917°（18°55′00″）
X線シャッター 自動
ディスプレイ 放射線強度計
装置寸法（L×W×H） 1132 × 642 × 1460 mm
正味重量 約200 kg

用途:

このX線方位測定システムは、ウェーハスライスまたは表面処理の前に正確な結晶学的位置合わせが必要な、シリコン、サファイア、複合材料を含む半導体結晶製造に最適です。また、材料科学および結晶工学の研究開発もサポートしています。

Q&A – よくある質問

Q1: このX線方位測定装置と互換性のある結晶の種類は何ですか？
A1: この装置は、シリコン、サファイア、SiC（炭化ケイ素）、GaN、その他の複合半導体など、さまざまな単結晶材料と互換性があります。直径2、4、6インチのロッドをサポートしています。

Q2: この装置は、面以外の結晶方位を測定できますか？
A2: はい、基準面（θ = 18.917°）に加えて、顧客の要件に応じて、C軸やR軸などの他の結晶学的方向を測定するようにシステムを構成できます。

Q3: 装置はどのように校正されますか？
A3: 校正は、認定された標準結晶ロッドを使用して実行されます。これにより、生産サンプルを処理する前に、システムの角度精度と再現性が確保されます。

Q4: 測定プロセスは自動ですか、それとも手動ですか？
A4: このシステムは、手動での配置と調整と、自動シャッター制御や垂直リフティングなどの自動機能を組み合わせており、操作を簡素化し、効率を向上させています。

Q5: X線放射線を扱うための安全対策はどのようなものですか？
A5: この装置は低出力のX線管を使用しており、被曝を最小限に抑えるためのシールド対策が施されています。ユーザーは、常に標準的な放射線安全プロトコルに従って装置を操作し、推奨電流制限の2.0mAを超えないようにする必要があります。

Q6: 長期間使用するために必要なメンテナンスはありますか？
A6: フィクスチャとプラットフォームの定期的な清掃が不可欠です。X線管、検出器、および電気接続の定期的な検査も推奨されます。安全な電流範囲内で操作することで、X線管の寿命を延ばすことができます。

Q7: この装置はクリーンルーム環境で使用できますか？
A7: はい、コンパクトな設計と密閉構造により、適切な取り扱いとメンテナンスが守られていれば、クリーンルーム用途に適しています。

Q8: さまざまな結晶サイズまたは配向に合わせてカスタマイズできますか？
A8: はい、要求に応じて、さまざまな結晶サイズ、特殊なフィクスチャ設計、または非標準の配向角度をサポートするようにシステムをカスタマイズできます。

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