dia50.8mm 2inch 1inch AlNの基質/AlNの単結晶のウエファー
10x10mmまたは直径10mm dia25.4mm dia30mm、dia45mmのdia50.8mm AlNの基質のAlNの単結晶のウエファー
適用の AlNの型板
私達は製造するために専有プロセスおよび技術の連続開発した
AlNの良質の型板。現在、私達のOEMはだれが2-6インチAlNを作り出すことができるか世界的に唯一の会社である
爆発性に会う2020年に300,000部分の容量の大規模な工業生産の機能の型板
UVC-LED、5G無線コミュニケーション、紫外線探知器およびセンサー等からの市場の需要
私達は標準化された10x10mm/Φ10mm/Φ15mm/Φ20mm/Φ25.4mm/Φ30mm/Φ50.8mm良質窒素を現在顧客に与える
アルミニウム単結晶の基質プロダクトを、また無極性10-20mmを顧客に与えることができる
M平面の窒化アルミニウムの単結晶の基質、または標準外5mm-50.8mmを顧客にカスタマイズするため
磨かれた窒化アルミニウムの単結晶の基質。このプロダクトは上限の基質材料として広く利用されている
UVC-LEDの破片、紫外線探知器、紫外線レーザーおよびさまざまな高い発電で使用される
/Highの温度/高周波電子デバイス分野。
独特の指定
- モデル UTI AlN 10x10B単一の水晶
- 直径 10x10±0.5mm;またはdia10mm、dia25.4mm、またはdia30mm、またはdia45mm;
- 基質の厚さ(µm) 400 ± 50
- オリエンテーション C軸線[0001] +/- 0.5°
質等級 S等級(極度の) P等級(生産) R等級(研究)
- ひび どれも どれも <3mm>
- FWHM-2θXRD@ (0002)<150><300> 0
- FWHM-HRXRD@ (10-12)<100><200> 0
- 表面の粗さ[5×5µm] (nm) Al表面CMP<0>
- 使用可能な区域 90%
- 吸光度<50>
- 長さのオリエンテーションの第1 {10-10} ±5°;
- TTV (µm) ≤30
- 弓(µm) ≤30
- ゆがみ(µm) -30~30
- 注:これらの性格描写の結果は用いられる装置やソフトウェアによってわずかに変わるかもしれない




不純物の要素 C O Si B Na W.P.S Ti Fe
PPMW 27 90 5.4 0.92 0.23 <0>
結晶構造 |
ウルツ鉱
|
格子定数(Å) |
a=3.112、c=4.982 |
伝導帯のタイプ |
直接bandgap |
密度(g/cm3) |
3.23 |
表面のmicrohardness (Knoopテスト) |
800 |
融点(℃) |
2750 (N2の10-100棒) |
熱伝導性(W/m·K) |
320 |
バンド ギャップ エネルギー(eV) |
6.28 |
電子移動度(V·s/cm2) |
1100 |
電気故障分野(MV/cm) |
11.7 |
