仕様
型番 :
1インチ シングルウェーハカセット
産地 :
中国
最低注文量 :
25
支払条件 :
t/t
供給能力 :
月1000個
配達時間 :
2〜4週間
パッケージの詳細 :
100グレードのクリーンルームでの梱包
対応ウェーハサイズ :
1インチ (直径25.4mm)、厚さ0.1~1.0mm
容量 :
スタンダード 1 ワッフル/カセット (カスタマイズ可能な 10 または 25 ワッフル 高容量バージョン)
材料 :
PEEK (高温版) /PVDF (化学耐性版) /ESD-PC (経済版)
清浄度クラス :
ISOクラス4 (クラス10)
ESD 保護 :
表面抵抗 10⁶~10⁹Ω/sq (ESD S20.20規格に準拠)
アプリケーション :
半導体製造 オプト電子
記述

1インチ・ウェーファー・カセット 製品紹介

 

 

1インチ シングル・ウェーファー・カセット ESD・セーフ・ウェーファー・ストレージ

 

 

 

1インチワッフルカセットは,半導体製造,光電子機器,マイクロ電子機器の研究開発高純度ポリマー (PEEKやPVDFなど) や反静的材料から製造され,汚染,静電損傷,クリーンルーム環境における物理的な影響SEMI規格に準拠するカセットは,MOCVD,PECVD,リトグラフィ,エッチングを含むプロセスにおける自動化ウェーファー転送システムに適しています.

 

 


 

1 インチ ウェーファー カセット主要 な 特徴

 

ESD安全ウエハ保管用1インチシングルウエハカセット

1超清潔な性能

 

超低粒子生成率 (<0.1μmで5粒子/ft3) を有するクラス100クリーンルーム用として認定された1インチ・ウェーファーカセット

• 表面 が 滑らか な の で,ワッフル が 引っかからない

 

 

2ESD 保護:

 

表面抵抗が106~109Ω/sq の炭素繊維強化または抗静的コーティング

• 1 インチ ワッファー カセット は,粒子 の 引き寄せ と 静電 放電 の 損傷 を 効果的に 防止 し ます

 

 

3機械的信頼性:

 

• 高温 (150°C まで) に 耐える,化学 剤 に 耐える (酸,塩基,有機溶媒 に 耐える)

• 1 インチ ワッファー カセット 安全 輸送 の ため に 振動 試験 に 合格 し た 設計

 

 

4自動化互換性:

 

• ロボット操作用の1インチ・ウェーファー・カセット標準化インターフェース (SMIF/FOUP対応)

• 主要な半導体機器 (ASML,応用材料など) と互換性

 

 

5精密なウェッファー保護:

 

• 1インチ・ウェーファー・カセット スロットピッチ精度 ±0.1mm ウェーファー位置誤差 ≤0.05mm

• オプションのRFIDタグスロット

 

 


 

1 インチ ウェーファー カセット主要用途

 

ESD安全ウエハ保管用1インチシングルウエハカセット

半導体製造:
• GaN/SiCウエフルのフロントエンド加工 (リトグラフィー,イオンインプランテーション)
• 伝統的な半導体 (Si,GaAs,InP) の処理
●電源装置 (MOSFET/IGBT) とRF装置 (GaN) の生産

 

 

2光電子:
• LED/MicroLEDチップとレーザー (VCSEL/EEL) のウエファー処理
•UV/IR/可視LEDの表軸加工

 

 

3R&Dアプリケーション:
・ 1 インチ ワッフル カセット 小型ワッフル 実験 学術 研究 機関
• 新しい光電子材料の研究 (量子ドット,ペロブスキット)

 

 

4MEMS 製造:
• センサー・ウェーバー (加速計,ジロスコップ,圧力センサー) の保護
バイオMEMSおよび光学MEMS装置の製造

 

 

5 先進的なパッケージ:
• 1 インチ・ウェーファー・カセットは,ウェーファー・レベル・パッケージング (WLP) と 3D IC 統合のための一時的な保存装置です

 

 


 

関連製品推奨

 

 

ZMSHは1~6インチのシングル・ウェーバーカセットを 提供しており 我々は半導体製造のための プロフェッショナル・ウェーバーストレージと転送ソリューションを 提供しています 1インチはGaAs材料の研究開発,2インチはLED/MEMS処理,3インチはSiC/GaN電源装置,4インチは主流のシリコン半導体,6インチは先進IC生産をサポートする. すべてのサイズは,クリーンルーム環境での信頼性の高い転送のために,SEMI規格を満たしています.

 

 

 

ESD安全ウエハ保管用1インチシングルウエハカセットESD安全ウエハ保管用1インチシングルウエハカセット

 

 

 

1インチ・ウェーファー・カセット FAQ

 

 

1Q: 1インチワッフルカセットは何に使われますか?

A:主に研究室で 1インチ半導体ウエファを処理し 貯蔵するために使われますし 光電子機器の小規模生産にも使われます

 

 

2Q: 1インチワッフルカセットはどんな材料で作られていますか?

A: 通常はPEEKやPVDFのような 高純度ポリマーで作られ 静止性のない性質を持ち クリーンルームに適合します

 

 

タグ: #1インチ シングル・ウェーファー・カセット,#ESD-セーフ,#ウェッファー 保存

 

 

 
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