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高純度SiC末端効果器 ワイファー処理 耐腐熱フォーク 半導体加工
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仕様
産地 :
中国
最低注文量 :
5
支払条件 :
t/t
供給能力 :
1000per月
配達時間 :
3-4週
パッケージの詳細 :
フォームクッション + ダンボール箱
表面抵抗 :
10⁴～10⁹Ω
サイズ :
パーソナライズ可能 (4~12インチ)
純度 :
990.9%
密度 :
D=8.91 (g/cm3)
直径 :
25〜500ミリ
適用する :
パッケージテスト、チップソーティング
メカニカル 強さ :
曲げ強さ > 400 MPa
耐性 :
0.1~60ohm.cm
熱抵抗 :
1600の℃
耐薬品性 :
酸,塩基,プラズマに耐性がある
記述

製品の説明:

当社のSiC エンドエフェクタは、半導体製造環境における超クリーンなウェーハハンドリング用に設計されています。高純度炭化ケイ素を使用して製造されたこれらのフォークは、優れた耐熱性高密度で微細な SiC 本体は、耐薬品性, および 機械的強度を提供し、エッチング、堆積、高温搬送システムなどの

過酷なプロセスチャンバーでの使用に最適です。高密度で微細な SiC 本体は、低パーティクル発生, 優れた寸法安定性, および

200mm から 300mm のウェーハ

  • との互換性を保証します。特定のロボットアームおよびウェーハキャリア向けにカスタム設計も利用できます。

  • 主な特徴:

  • 材質: 高純度炭化ケイ素 (SiC)

  • 優れた耐熱性 (最大 1600℃)

  • 優れた耐薬品性および耐プラズマ性

  • 高い機械的強度と剛性

  • クリーンルームでの使用に適した低パーティクル発生

4 インチ、6 インチ、8 インチ、12 インチのウェーハハンドリングに対応

ロボットとの互換性のためのカスタム形状とスロット 製品仕様:
パラメータ 仕様
材質 高純度 SiC (≧99%)
サイズ カスタマイズ可能 (4～12 インチウェーハ用)
表面仕上げ 要件に応じて研磨またはマット
耐熱性 最大 1600℃
耐薬品性 酸、塩基、プラズマに耐性
機械的強度 曲げ強度 > 400 MPa

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クリーンルームグレード

クラス 1～100 に適合

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製品詳細
産地 :
中国
最低注文量 :
5
支払条件 :
t/t
供給能力 :
1000per月
配達時間 :
3-4週
パッケージの詳細 :
フォームクッション + ダンボール箱
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SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD

Verified Supplier
8 年数
shanghai, shanghai
ありがとうございました 2013
事業形態 :
Manufacturer, Agent, Importer, Exporter, Trading Company
主な製品 :
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年間総額 :
1000000-1500000
認証レベル :
Verified Supplier
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