SEMIシリーズモジュール式設計半導体リフロー溶接炉熱気システム
適用:
基本技術:
01 パテント付き熱気システム,効率的な熱補償能力,正確な温度制御精度
02 溶接過程中の部品の酸化を防止するために,すべてのプロセスで窒素保護,各温度ゾーンで独立した窒素制御
03 低酸素含有量制御 溶接の質を保つために,全過程中に50~200PPMの範囲内である
04 モジュール式設計,効率的な冷却システム,冷却傾斜は0.5-6°C/Sに達し,各プロセス冷却傾斜の要件を満たす
05 細い網状の帯は,スムーズな輸送のために,また小さな部品の伝送のために,安定した製品品質を確保するために,落下を防止します
06 半導体の粉のないワークショップの要求を満たすために,効率的でクリーンな処理
製品の特徴:
輸送システム 半導体用の特殊な細い網状帯の送電装置,小型の部品のために,落下や詰め込みを防ぐために |
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熱気システム 多周波数制御 多周波変換制御,より正確な温度制御,空気流域は低から高に制御することができます,制御システムが安定して信頼性があることを保証するために |
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ロージン回収システム 入口側と出口側には独立した樹脂回収装置があり,また,予熱エリアには,多段階フィルタリングがあります. |
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完全な窒素保護システム 低酸素濃度 窒素はプロセス全体で充電され,各プロセスセクションで独立して制御されます.オーブンの酸素含有量は,優れた溶接品質を確保するために50PPM以内にすることができます |
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低窒素消費量 全新炉構造設計,多層熱隔離,復元システムの閉鎖回路制御,効果的に窒素量を節約し,使用コストを節約 |
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効率的な熱気循環暖房システム 多層熱隔離設計,高温安定性 効率性,低エネルギー消費,生産コスト削減 |
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冷却システム 高功率冷水システムを持つ冷却ゾーンで,最適な冷却傾斜を確保する |
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制御システム 超高温制御能力,半導体の包装加熱プロセスプロファイルを満たす |
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高い 清潔さ 半導体機器の高度な清潔環境の要件を満たすために,R&Dのための特別なクリーンルーム,千レベル |
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輸送システム ソフトウェアはSECS/GEM半導体通信プロトコルをサポートします 工場のインテリジェント情報と制御システムを接続します接続管理の機能を効果的に実現できる,データ収集,アラーム,制御状態,機器端末サービス,メッセージログなど |
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製品パラメータ:
モデル番号 | SEMI-08N | SEMI-10N | SEMI-13N |
暖房システム | |||
熱帯構造 |
8つの熱帯 16つの暖房モジュール |
10つの熱帯 20 熱装置 |
13つの熱帯 26つの暖房装置 |
熱帯の長さ | 2950mm | 3670mm | 4750mm |
熱する時間 | 20分 | 25分 | 25分 |
排気口 排気体 径 量 | 2-Ø145,排気需要 10m3/min x2 | ||
冷却システム | |||
冷却型 | 3つの冷却ゾーン:強制冷却水 | ||
冷却ゾーンの長さ | 1250mm | ||
冷蔵庫の電力 | 外部用水冷却機 (オプション:顧客ワークショップの冷却水に接続) | ||
コンベヤーシステム | |||
輸送機のタイプ | 細い網状網状帯 (オプション:B型網状帯,強引骨状網状帯) | ||
輸送機の方向 | L→R,R→L | ||
輸送機の高さ | 900±20mm | ||
メッシュベルトの幅 | 24" (他の幅サイズもカスタマイズできます.) | ||
部品の高さ | 20mm | ||
輸送機の速度 | 300mm~2000mm/分 | ||
制御システム | |||
パワー | AC3Ø 5W 380V 50/60HZ | ||
総電源 | 70KW | 89KW | 118KW |
スタートアップパワー | 35KW | 38KW | 42KW |
通常消費量 | 10KW | 12KW | 14KW |
温度制御範囲 | 室温320°Cまで | ||
コントロールタイプ | PC+PLC制御システム | ||
温度制御の精度 | ±1°C | ||
PCB 温度偏差 | ±1.5°C | ||
データ保存 | 処理データと状態の保存 | ||
停電防止 | UPSを搭載している | ||
操作インターフェース | Windows 簡易化中国語,英語 オンラインで無料の切り替え | ||
N2面積 | 完全窒素充填 | ||
セックス/ゲム通信プロトコル | スタンダード | ||
MES通信プロトコル | スタンダード | ||
パソコン | 商用コンピュータ | ||
マシンパラメータ | |||
寸法 (LxWxH) | 5680×1710×1650mm | 6400*1710*1650mm | 7500*1710*1650mm |
体重 | 2400〜2600kg | 3200〜3400kg | 3600〜3800kg |
流体回収システム | スタンダード | ||
色 | 明るいくねた白色 |
通知:
1電力需要:
3相5線:電圧380V,周波数50/60HZ
2 25mm以上の線直径,2,漏れ防止スイッチ 160A,漏れ防止スイッチ 150-200mAの漏れ容量
2地面は1000kg/m2の圧力に耐える必要があります.
3外部換気条件:気道 Ø145mm,換気体積 15-20M3/min.