半導体およびディスプレイ製造における品質管理には、薄膜厚さのモニタリングが不可欠です。当社の光電計器は、精密な測定と繊細な層の保護を組み合わせた理想的なソリューションを提供します。インテリジェントな光学診断を通じて、業界は継続的なプロセス改善と画期的な開発のためのツールを獲得します。
JINSP SR100Q分光計は、浜松S7031、科学グレードのTE冷却エリアアレイCCDチップを統合しています。24×24μmの画素サイズと最大92%の優れた量子効率により、紫外線帯での高い応答を保証し、弱い信号の感度とSNRを効果的に向上させます。高度な高解像度光路と低ノイズ、高速FPGA信号処理チップは、優れたスペクトル信号と安定した信頼性の高い性能を提供します。
検出器仕様 | ||
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検出器 | チップタイプ | 裏面照射型TE冷却浜松S7031 |
有効画素 | 1024*122 | |
画素サイズ | 24*24μm | |
受光面積 | 24.576*2.928mm | |
光学パラメータ | ||
光学設計 | F/4クロスタイプ | |
開口数 | 0.13 | |
焦点距離 | 100mm | |
入射スリット幅 | 10μm、25μm、50μm、100μm、200μm(カスタマイズ可能) | |
ファイバーインターフェース | SMA905、自由空間 | |
電気的パラメータ | ||
積分時間 | 8ms-3600s | |
データ出力インターフェース | USB3.0、RS232、RS485、20ピンコネクタ | |
ADCビット深度 | 16ビット | |
電源 | 5V | |
動作電流 | <3.5A | |
物理的パラメータ | ||
動作温度 | 10℃~40℃ | |
保管温度 | -20℃~60℃ | |
動作湿度 | <90%RH(結露なし) | |
寸法 | 180mm*120mm*50mm | |
重量 | 1.2kg |
モデル | スペクトル範囲(nm) | 分解能(nm) | スリット(μm) |
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SR100Q-G21 | 200~950 | 6.8 | 200 |
SR100Q-G22 | 350~1100 | 2.2 | 50 |
SR100Q-G23 | 200~775 | 1.6 | 50 |
SR100Q-G24 | 350~925 | 1.0 | 25 |
SR100Q-G25 | 532~690(4400cm-1*) | 13cm-1 | 50 |
SR100Q-G26 | 638~800(3200cm-1*) | 10cm-1 | 25 |
SR100Q-G27 | 785~1050(3200cm-1*) | 11cm-1 | 50 |
注:*の付いたモデルは、主にラマンアプリケーション向けに設計されています。
ファイバープローブからの入射光は、膜の上面と下面で反射し、干渉ビームを生成します。分光計はそれらの干渉スペクトルを分析し、極値法(θ、n、ピーク/トラフデータを使用)による厚さの計算を可能にします。厚さが増すとフリンジ間隔が狭まり、波長が長くなると広がります。正確な測定には、最適化されたスペクトル設定が必要です。
JINSP Company Limitedは、ラマン、FT-IR、LIBS技術を含む、スペクトル検出技術製品の分野で17年以上の経験を持つ専門サプライヤーです。17年間の技術蓄積を経て、同社のコア技術は国際的に最先端のレベルに達し、200件以上の特許出願があります。
北京に本社を置き、中国江蘇省に製造施設を運営しています。同社はISO9001:2015、ISO14001:2015、ISO45001:2018認証を取得しており、CE認証やドイツICTセキュリティテストなど、さまざまな業界固有の認証も取得しています。