ITOフィルムコーティングマシン,バスタイプ ITOフィルム マグネットロンスプッターコーティング / ガラス ITO堆積機
ITOフィルムコーティングマシン標準的な用途: PET,ガラス,ITOコーティング層を生成します
製造時期は2012年 中国です
ARフィルム,ITOフィルム
作業部品:
サイズ: 300mm*100mm
PETの厚さ:0.175mm+/-0.05mm
*ITOフィルムの厚さ:185nm+/-5nm
シート抵抗: 6~8ohm/sq
ITOフィルムコーティングマシン技術構成:
1) DCスプッター源:Cu,Al,ITO
2) MFスプッター源
3) ターボ分子ポンプ + バックポンプグループ
4) ITOフィルムの質を向上させる高強度磁場,目標利用率>30%
5) Cu,Al,Si の利用率 > 35% を目標とする
6) 堆積速度: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) スプッタリングの均一性領域: 350mm
ロイヤル・テクノロジーは 完全なコーティング・ソリューションを 提供できることを光栄に思います