水平ウェーハキャリア – 半導体製造における精密ハンドリング

この水平ウェーハキャリアは、半導体製造における重要な革新であり、製造プロセス中にデリケートなウェーハを安全に輸送および保管する（150mm～450mm）ように設計されています。クリーンルーム適合性とプロセス安定性のために設計されており、これらのキャリアは、高度な材料と精密なエンジニアリングを利用して、堆積、エッチング、検査装置におけるウェーハのスループットを最大化しながら、パーティクルの発生を最小限に抑えます。

従来の垂直キャリアとは異なり、水平設計は以下を提供します:

• 上部および下部カバー内リング設計 – ウェーハの横方向の動きを最小限に抑え、エッジとの接触を防ぎ、傷のないハンドリングを保証します。

• フィンガーグリップ付き強化下部内リング – 耐衝撃性を高め、自動化された機器インターフェースとの互換性を提供します。

• 4点ロックシステムと耐衝撃性外リング – 輸送中に構造的な堅牢性でウェーハを保護します。

• 凹型表面レタリング – 物流中のHDPE包装袋の破損を防ぎます。

の主な特徴水平ウェーハキャリアボックス

1. 精密ウェーハ安定化システム

デュアルカバー内リング技術:

• 上部リング: 精密機械加工されたアルミニウム合金、PVDセラミックコーティング

  • 0.05mm公差の12点ウェーハ接触システム

  • リアルタイムのウェーハ応力モニタリング用の統合ひずみゲージ（オプション）

• 下部リング: 炭素繊維強化複合材

  • 調整可能な剛性（5～15N/mm）の3ゾーンダンピングフィンガー

  • -40℃～200℃の自動熱補償

性能データ:

• ウェーハのずれ2.5m/s²の加速度で<0.1mm

• エッジ除外ゾーンを0.5mmに短縮（通常2mmから）

• 100万サイクルのテストで0％のウェーハ破損

2. 高度な衝撃および振動保護

多層保護アーキテクチャ:

1. 一次吸収: 粘弾性ポリマーダンパー（15G定格）

2. 二次バッファ: ベースプレート内のチタンバネシステム

3. 三次保護: 耐衝撃性ポリカーボネートバッファゾーン

振動性能:

• 前世代よりも5倍優れた振動絶縁（100Hzで0.01gの伝送）

• AMHS輸送中に<0.2μm TIR（全インジケータランアウト）を維持3. インダストリー4.0対応

スマート機能:

統合IoTセンサー（温度、湿度、振動）

• 継続的なセンサー動作のためのワイヤレス充電

• 工場MES統合による予測メンテナンスアラート

• 自動化インターフェース:

標準E84/E87ロボットエンドエフェクタ互換性

• 工具不要のクイックリリース機構（

• <30秒のラッチ交換)±0.1mmの再現性を持つ自動アライメントガイド

• 4. クリーンルーム最適化設計

パーティクル制御:

すべての可動部品は、>95％の捕捉効率を持つパーティクルトラップを備えています。

• セラミックコーティングされた摺動面（

• <0.01パーティクル/cm³の発生)窒素洗浄用の定期的なパージポート

• 安全性の強化:

レーザーエッチングされたマーキングは表面より0.3mm凹んでいます

• すべての鋭利なエッジは>0.5mmに丸められています

• 帯電防止材料（10⁶-10⁹Ω/sqの表面抵抗）

• 水平ウェーハキャリアボックスの適用

1. フロントエンド半導体プロセス

薄膜堆積

（CVD、PVD、ALD）

• プラズマエッチング/アッシングイオン注入

• 2. 計測および検査

• EUVリソグラフィマスク輸送

ウェーハ検査ツール

• X線回折分析

• 3. 高度なパッケージング

• 2.5D/3D ICアセンブリ

ウェーハレベルパッケージング（WLP）

• TSV（Through-Silicon Via）プロセス

• 4. 研究開発

• パイロットラインウェーハハンドリング

新材料開発

• プロセス認定

• 技術仕様

• パラメータ

仕様

A1: 水平方向は、

ウェーハのたわみを60％削減します
（SEMI E158-1119あたり）、<5nmノード処理に不可欠です。Q2: ウェーハの固着を防ぐにはどうすればよいですか？

A2: 当社の
ナノパターン化されたポケット表面は、標準設計と比較して接触面積を85％削減します。Q3: メンテナンススケジュールは？

A3:
50,000サイクルでパッド交換、200kサイクルごとに完全な改修。Q4

: ウェーハ破損への対応は？A4:
断片化されたウェーハ封じ込めポケットは、相互汚染を防ぎます。Q5: キャリアを真空チャンバーで使用できますか？

A5: はい - 特殊な
アウトガス最適化バージョンが利用可能です（<10⁻⁶ Torr・L/秒）。