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半導体光耐性超音波リトグラフィーコーティングシステム
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仕様
モデル番号 :
FS620
産地 :
中国
最低注文量 :
1 ユニット
支払条件 :
T/T,ウェスタン・ユニオン
供給能力 :
1ヶ月あたりの1000の単位
パッケージの詳細 :
木の場合によって詰められる
生産名 :
超音波精密噴霧機
頻度 :
60kHz
最大電源 :
1〜15W
連続噴射量 最大 :
20-1200ml/h/pcs,スケーラブル
効果的噴霧幅 :
2-260mm/pcs,スケーラブル
噴霧の均一性 :
≥95%
溶液粘度 :
≤30cps
入力電圧 :
220V±10%/50-60Hz
記述

半導体光耐性超音波リトグラフィーコーティングシステム


 
記述:


超音波噴霧は,光電図のウエファー加工における光抵抗性コーティングのためのシンプルで経済的で再現可能なプロセスである.FUNSONICの半導体光抵抗超音波リトグラフィーコーティングシステムは 流量率を細かく制御するために 先進的な層化技術を使用します低速スプレー鋳造は,過剰なスプレーを避け,薄くて均質な層を生成するための正確な制御可能なパターンとしてスプレースプレーを定義します.
FUNSONICの半導体耐光超音波リトグラフィーコーティングシステムは より均一なコーティングを埋める利点があります特に高面比の溝やV型溝構造の側壁の上部に沿って遠心回転では,穴の下部に光抵抗が過剰に蓄積されない限り,横壁に沿って均質なコーティングを堆積することはできません.

 
 
パラメーター:

 

製品タイプ

超音波精密スプレーコーティングマシン 実験用デスクトップタイプ

FS310

インテリジェント超音波精密コーティングマシン デスクトップタイプ

FS620
噴霧ノズルの動作頻度 20〜200KHz 20-200KHz (通常は60100110120Kを使用)
ノズルのパワー 1〜15W 1〜15W
連続噴射量 最大 0.01-50ml/min 0.01-50ml/min
効果的噴霧幅 2〜100mm 2〜100mm
噴霧の均一性 ≥95% ≥95%
溶液変換率 ≥95% ≥95%
ドライフィルムの厚さ 20nm〜100μm 20nm〜100μm
溶液粘度 ≤30cps ≤30cps
温度範囲 1〜60°C 1〜60°C
原子化粒子 (平均値) 10〜45μm (蒸留水),ノズルの周波数によって決定される 10〜45μm (蒸留水),ノズルの周波数によって決定される
偏向圧力 最大 ≤0.10MPA ≤0.15MPA
入力電圧 220V±10%/50-60Hz 220V±10%/50-60Hz
練習モード X+Y 2軸完全自動,Z軸手動調整 XYZ 3軸,独立プログラム可能
制御モード マイクロコンピュータカード 7インチタッチスクリーン+ボタン FUNSONICスプレー制御システム,PLC制御, 13.3インチフルカラータッチスクリーン
コントロール内容 超音波噴射,液体供給,加熱,超音波分散その他のシステム 超音波噴射,液体供給,加熱,超音波分散その他のシステム
液体供給方法 精密注入ポンプ 精密注入ポンプ
超音波分散システム (オプション) 50ml,40K,生物学的サンプラー 20mlまたは50ml,40K,生物学的サンプラー
超音波分散システムの定数電源 200W,10A 100W


 

利点:

 

1表面のコンタクトを均一に覆う.
2優れた均一性を持つ高面比の溝をコーティングすることができます.
3詰め込まないスプレー
4単一マイクロンの薄い層を非常に均一に堆積できる.
5繰り返しの成熟した噴霧プロセス.


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Hangzhou Qianrong Automation Equipment Co.,Ltd

Verified Supplier
7 年数
zhejiang, hangzhou
ありがとうございました 2008
事業形態 :
製造業者
主な製品 :
, ,
年間総額 :
3000000-5000000
認証レベル :
Verified Supplier
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