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半導体オーブンのSEOシリーズ
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仕様
モデル番号 :
SEO-100N
産地 :
シェンゼン,広東省,中国
最低注文量 :
≥1pc
支払条件 :
T/T
配達時間 :
25~50日
パッケージの詳細 :
パライウッドの箱
名前 :
半導体オーブン
モデル :
SEO-100N
寸法 :
1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) mm
箱の寸法 :
700 ((L) *550 ((W) *600*2) ((H) mm
体重 :
500〜800kg
総電源 :
21KW
熱力 :
10KW*2
動作電圧 :
AC3Ø 5W 380V 50/60H
温度 精度 :
±0.5°C
温度の動作範囲 :
室温+10°C~250°C
温度制御モード :
PID 閉ループ制御+SSR ドライブ
カスタマイズできる :
そうだ
記述

高容量PID調節半導体オーブンのSEOシリーズ 密度

 

窒素で満たされた半導体オーブンは,強い普遍性,高い安定性,高い性能を持っています.それは高容量水平空気のリサイクルシステムを採用します.特殊な室構造と密封技術を採用このオーブンは,半導体製品に対する高性能要求を満たすために,優れた気密性と温度均一性を備えています.このオーブンは,半導体ウエフを固めるのに適しています.ICパッケージ (銅基板)銀ゲル,シリカゲル,エポキシ樹脂),ガラス基板,その他の製品.
 
基本技術:
01 高容量水平空気循環熱気システム 高性能温度均一性を達成する
02 室は完全に密閉設計,不?? 鋼板を採用し,良い空気密度,窒素を節約
03 高功率高温耐長軸モーターと,高温環境で長時間安定して動作できる大型タービンブレード
04 加熱速度は制御可能で,プロセスプロファイル設定のための1つのキー操作,冷却のための冷却システムで,生産効率を効果的に改善することができます
05 高精度温度調節器,PID調節,制御精度は0.5°Cに達し,信頼性の高い制御,安全な使用
06 効率的なクリーン処理,千度クリーンルーム老化試験,半導体粉塵のないワークショップと製品の要求を満たす
07 低酸素含有量制御,リアルタイムモニタリング,ダブルチャネル分析システム
 
製品の特徴:
半導体 オーブン 部屋 構造
上部と下部の箱には熱気循環システムがあり,空気速と音量が調整され,異なるプロセスパラメータが独立して操作できます.炉室は高品質のステンレス鋼で作られていますオーブンは,スペース利用を向上させるため,層付きのブレーキットで装備されています.


半導体オーブンの窒素システム
原子炉内での窒素補給,複数の流量計を装備し,独立した調整機能で,合理的な窒素使用と均衡な配分を保証する.多チャンネル酸素分析器,上下室の酸素含有値のリアルタイムモニタリングは,別々に制御できる,単一の室の酸素含有量は500PPM以内に制御できる (オプション:100PPM の範囲内).
 

半導体オーブンの冷却システム
水冷却システムが採用されています.フィンのラジエーターの爆発水冷却,炉内の温度が冷却しているとき,吹風機はフィンのラジエーターを通して熱を迅速に交換します.冷却時間を大幅に短縮します. 独特の冷却システム,高温で即時の冷却蒸気膨張を回避し,効果的に製品の品質を保護します.

 

半導体 オーブンの安全保護システム
超高温保護 (スタジオ温度が高すぎないようにし 製品を保護する) で,超高温状態が発生すると,すぐに電力を切断します.同じ時に従業員を思い出させるアラームがあり,製品へのよりよい保護;過剰な酸素含有量の制御と保護;窒素低圧アラーム保護;上部と下部の箱には電子的な安全鍵が付いています装置には緊急停止スイッチがあります


半導体オーブンの透明性試験
試験後,0.5μmの粒子の濃度は≤35200で,高潔度で千級のクリーンで塵のないワークショップの生産要件を満たします.

半導体オーブンのSEOシリーズ
 

半導体オーブンの温度プロファイルの試験
高精度温度コントローラ,PID制御,高容量水平空気循環熱気システム,高性能温度均一性を達成できます.

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製品パラメータ:

モデル番号 SEO-100N
箱の部分
箱の寸法 700 ((L) *550 ((W) *600*2) ((H) mm
箱数と動作モード

2つの箱,各箱は独立して実行することができます
選択可能なボックスです.
熱気システム 調節可能な気速と音量を持つ熱気循環システム
冷却システム 顧客ワークショップ冷却水による冷却水循環システム
窒素系 流量計と酸素分析器で,酸素含有量をリアルタイムで表示する
内部仕様 スタッドレスタイヤの支架を装備し,棚間間隔を調整できる
制御システム
動作温度範囲 室温+10°C~250°C
温度制御モード PID 閉ループ制御+SSR ドライブ
制御システム PC+PLC電気制御システム,Windows操作インターフェース
温度精度 ±0.5°C
温度均一性 ±1.5%°C (負荷なし)
熱する時間 ≤15分 (無負荷で200°C)
冷却速度 2〜5°C/分
熱力 10KW*2
酸素含有量制御 ≤500PPM (オプション:≤50PPM)
動作電圧 AC3Ø 5W 380V 50/60HZ
総力 21KW
MES通信プロトコル スタンダード
清潔性クラス クラス 1000
マシンパラメータ
寸法 (LxWxH) 1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) mm
体重 500〜800kg
色

明るいくねた白色

 
通知:
1ガス源要件:窒素の作業圧 (使用中の圧) >0.5-0.8Mpa,窒素純度99.999%.
2電力需要:
3相5線:電圧380V,周波数50/60HZ
2 25mm2以上の線直径,漏れ防止スイッチ100A,漏れ防止スイッチ 150-200mAの漏れ容量
3地面圧力の要求: 1000kg/m2
4外部換気要件: 2-Ø38mm 外径の空気管,換気体積 2*5M3/min
5環境要件:環境温度は5-40°C,相対湿度は20-95%の範囲でなければならない.

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モデル番号 :
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産地 :
シェンゼン,広東省,中国
最低注文量 :
≥1pc
支払条件 :
T/T
配達時間 :
25~50日
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guangdong, shenzhen
ありがとうございました 1984
主な製品 :
, ,
年間総額 :
30000000-45000000
従業員数 :
300~500
認証レベル :
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