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中国CVDオーブン製造,シリコンカービッドコーティングマシン
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仕様
モデル番号 :
カスタマイズ可能
産地 :
中国
最低注文量 :
1セット
支払条件 :
L/C,T/T
供給能力 :
5〜6ヶ月/セット
配達時間 :
5-6か月
パッケージの詳細 :
木製ケース
効果的空間 (mm) :
1000*1000*1500
熱力 (KVA) :
300
マックス テープ :
1500℃
温度均一性 :
≤±7°C
究極の真空 :
10pa
プロセスガス :
MTS、Ar、H2
記述

中国 シリコンカービードコーティングのCVDオーブン製造

この装置は,炭素基/セラミック基の材料のシリコンカービードコーティングに使用されます.特に半導体の表層にシリコンカービッドが堆積し,エピタキシアル受容体とエッチリング.

化学蒸気堆積 (CVD) プロセスに使用されるCVD炉.化学蒸気堆積は,蒸発した前駆ガスと加熱された表面との間の化学反応を使用して,薄膜が基板に堆積されるプロセスである..

エピタキシアルベース 高純度グラフィットディスク 円の溝で ウェファーの基板を固定する炉に入れた後 表面に結晶膜の層が成長します 結晶膜は上軸層です石版画やイオン植入などのウェッファープロセスは全て表頭層で行われます.

明らかに,グラフィット製の表軸基は,半導体プロセスにおける超高い清潔性要求を満たすことはできません.密度の高いシリコンカービッドフィルムを 基に敷き詰めるために 化学蒸気堆積を 使う必要があります

• デザイン 基準

設備は,品質技術監督局の圧力容器要件に従って設計され,圧力試験を経て合格し,出荷されます.電気設計と建設は,国家基準を満たしています.

• 設置前試験と受付前試験

すべてのパイプライン,真空パイプライン,プロセスガスパイプライン,冷却水パイプライン,圧縮空気パイプラインなど設置後には予備試験を行うことができる.設備以外のパイプラインは顧客が提供します. 設置にはすべてのケーブルの接続も含まれます.電源キャビネットを接続するメインケーブルは顧客が提供します設置後,私たちは真空と正圧の漏れを検査し,機械的および電気的機能テストを行います.

• 解体 と 輸送

装置はいくつかの大きな部品に分解され,標準化された方法で梱包され,輸送車に積まれます.

• 顧客サイトの設置と運用

レデルのアフターセールスエンジニアは 20日以内に チームを指揮し 稼働させ 試製品燃焼等を完了します顧客は適切な準備をし,必要な道具を提供する必要があります.設置スタッフのサポート (機械スタッフ1名と電気スタッフ1名とすることが推奨されます).

• 最終 的 承認

装置の設置と投入後,技術契約の要件に従って,設備を最終的に承認することができる.

• 訓練

販売後技術者は 運用,保守,トラブルシューティングなどを含む 組織的で完全な現場訓練を 提供します

• 技術データ提供

安全な運用と設備の保守を保証するために,次の技術データは顧客に提供されます.

1設備の設置図

2ユーザーマニュアル

3部品リスト

4電気図

5部品の説明書

よくある質問

あなたは工場か貿易会社ですか.

Q: 工場ですか? それとも貿易会社ですか?

A:私たちは中国のトップの高温真空炉メーカーで,10年以上の経験があります.

オーダーメイドやOEMサービスがありますか?

Q: オーダーメイドまたはOEMサービスがありますか?

A:はい,私たちは強力なR&Dチームとハイテク機器を持っています. だから,私たちは通常のモデルだけでなく,私たちのクライアントのリプーリメントとしてカスタマイズ可能なオーブンを供給することができます.

あなたの優位性は?

Q:あなたの利点は?

A: その通り

迅速な回答です

l 高品質管理

安定したサプライチェーン

間に合う配達

優れたアフターサービス

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製品詳細
モデル番号 :
カスタマイズ可能
産地 :
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最低注文量 :
1セット
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配達時間 :
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Zhuzhou Ruideer Metallurgy Equipment Manufacturing Co.,Ltd

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7 年数
hunan, zhuzhou
ありがとうございました 2011
事業形態 :
Manufacturer, Exporter, Seller
主な製品 :
, ,
年間総額 :
15 Million-19 Million
従業員数 :
180~220
認証レベル :
Verified Supplier
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