画像に示されている調整可能なウェーハボックスは、半導体業界でその優れた透明性、耐久性、耐薬品性で広く知られている高純度ポリカーボネート(PC)を使用して製造されています。これにより、このボックスは、さまざまなサイズのウェーハの柔軟な保管ソリューションであるだけでなく、製造、検査、輸送を通じて、デリケートな基板を確実に保護します。
ポリカーボネートは、光学的な透明性と機械的強度を兼ね備えているため、ハイエンドウェーハキャリアに最適な材料です。PCの透明性により、オペレーターはボックスを開けずにウェーハの存在と状態を目視で確認できるため、汚染のリスクが軽減されます。
PC材料の主な利点には以下が含まれます。
クリスタルクリアな透明性(光線透過率 > 85%) – シールされた状態でのウェーハ検査を可能にします。
耐衝撃性 – PCは事実上壊れないため、取り扱い、輸送、または誤って落下した場合にウェーハを保護します。
クリーンルーム適合性 – PCは非常に少ない粒子を発生させるため、ISOクラス5~7のクリーンルームに最適です。
耐熱性および耐薬品性 – IPA(イソプロピルアルコール)またはファブで一般的に使用されるその他の溶剤での洗浄に耐えることができます。
一部のモデルでは、ESD(静電気放電)保護をさらに強化し、埃の付着を減らすために、PCに表面処理または帯電防止コーティングを施すこともあります。
完全透明ボディ: ボックスは完全に透明で、クリーンルームのシールを壊すことなく、ウェーハを目視で確認できます。
調整可能な内部ペグ: 白いサポートペグは、さまざまな直径(通常4インチ、6インチ、または8インチ)のウェーハを固定するために再配置できます。
安全なヒンジ付き蓋: ヒンジ機構により、蓋はスムーズに開き、閉じるとしっかりとロックされるため、偶発的な汚染やウェーハの滑りを防ぎます。
耐薬品性仕上げ: PC材料は、クリーンルーム溶剤や弱酸への暴露に耐え、長期的な使いやすさを保証します。
属性 | 仕様 |
---|---|
コンテナ形状 | 長方形 |
クロージャータイプ | フリップトップ(ヒンジ付き蓋) |
食器洗い機対応 | いいえ |
アイテムパッケージ数量 | 1 |
製品のお手入れ方法 | 手洗いのみ |
電子レンジ対応 | いいえ |
アイテムフォーム | 蓋付きボックス |
特別な機能 | 調整可能なサイズ、透明PC材料 |
セット数 | 1 |
– 複数のプロセス段階でウェーハを安全に保管および輸送します。サファイアおよびガラス基板
– LED、光学、および高度なディスプレイ業界で使用されるデリケートな基板を保護します。R&Dおよび研究室での使用
– 試験または実験のためにさまざまなサイズのウェーハを扱う機関に最適です。グローバルな輸送とロジスティクス
– PCボックスは、世界中の顧客またはパートナーファブに送られるウェーハの耐久性があり、再利用可能なパッケージングを提供します。
FAQ
PCは優れた耐衝撃性を提供し、粉々になることはありませんが、アクリル(PMMA)はストレス下でひびが入ることがあります。
Q2:PCはクリーンルーム洗浄剤に耐えることができますか?
はい。PCはIPA(イソプロピルアルコール)および標準的な洗浄に使用されるその他の溶剤に耐えますが、長時間の暴露には強アルカリを避ける必要があります。
Q3:このボックスは、完全に自動化されたウェーハハンドリングに適していますか?
この設計を含む多くのPCウェーハボックスは、生産要件に応じて、手動またはロボットによるハンドリングに適応できます。
Q4:何度も再利用できますか?
もちろんです。PCボックスは数十回、さらには数百回のサイクルで再利用できるため、費用対効果が高く、環境に優しいです。
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