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SiCセラミックフォーク オーダーメイド 精密構造部品 ハンドル ウェーファー オプティカルコンポーネント
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仕様
原産地 :
中国
最小注文数量 :
1
支払条件 :
T/T
供給能力 :
1pcs/month
配達時間 :
4週間
パッケージの詳細 :
泡付きプラスチック+紙箱
高硬さ :
モース硬度9まで3
熱膨張率が低い :
通常約 4.0 × 10⁻⁶ /K
優秀な熱伝導性 :
120～180 W/(m・K) の熱伝導率
低密度 :
約3.1 g/cm3
記述

SiCセラミックフォーク 定番の精密構造部品,ハンドル・ウェーファー,光学部品

 

概要SiCセラミックフォーク

SiCセラミックフォーク オーダーメイド 精密構造部品 ハンドル ウェーファー オプティカルコンポーネント

 

SiCセラミックフォークアームは,高度なシリコンから作られた構造部品です

カービッドセラミック材料.主に高硬さ,低熱膨張係数,高耐磨性を必要とする精密機器で使用されます."フォークアーム"の形は,一般的に高級の光学装置で見られます半導体処理機器や自動処理システム, サポート,位置付け,伝送,またはクランプ要素として機能します.シリコンカービッドセラミックは,機械性能において重要な利点があります.耐腐蝕性があり,徐々に現代高精密製造における重要な機能的部品になりました.

 

 

属性の表SiCセラミックフォーク

 

資産 典型的な価値 ユニット コメント
材料 シリコンカービード (SSiC) ほら 高純度高密度グレード
密度 3.10 315 g/cm3  
硬さ ≥ 2200 HV0.5 (ビッカース) 最も硬い工学陶器の一つ
折りたたみ力 ≥ 400 MPa 4点の屈曲試験
圧縮力 ≥ 2000 MPa  
ヤングのモジュール 400 ¥ 450 GPa 超高硬さ
熱伝導性 120 ¥ 180 W/(m·K) 熱を散らすのに最適
熱膨張係数 ~4.0 × 10−6 /K (25~1000 °C) 熱安定性 の ため に 理想 的
最大動作温度 1400 1600 °C 空気中;無活性大気中より高い
電気抵抗性 > 1014 オー·cm 隔熱セラミック
化学 耐性 すごい ほら 酸,塩基,溶媒に耐える
表面の粗さ (磨き後に) < 0 でした.02 μm Ra 接触面ではオプション
クリーンルーム互換性 クラス10 ̇ 1000 ほら 半導体および光学用に使える

 

 

SiCセラミックフォークアームの設計と製造

 

構造設計

 

SiCフォークアームは,アプリケーション要件に応じてカスタム設計されています.一般的な形態には",U型"または"T型"アームが含まれます.

 

  • ワッフル処理

  • 探査カードの位置付け

  • オプティカルモジュールサポート

設計における重要な考慮事項には,以下の事項が含まれます.

 

  • 負荷容量とストレスの分布

  • 熱圧補償

  • 精密マウントインターフェイス

  • クリーンルーム互換性

処理技術

 

製造過程にはいくつかの重要なステップが含まれます.

 

 

  • 粉末製

  • 形付け (乾圧,同静圧,鋳造)

  • シンテリング (例えば,圧力なしのシンテリング,反応結合)

  • 機械加工 (磨き,レーザー掘削,EDM)

  • 表面加工 (磨き,コーティング,レーザーマーク)

SiCセラミックコンポーネントの準備のためのプロセスフロー図

 

SiCセラミックフォーク オーダーメイド 精密構造部品 ハンドル ウェーファー オプティカルコンポーネント

 

応用シナリオについてSiCセラミックフォーク

 

半導体機器

 

SiCセラミックフォークアームは,通常,光立体,エッチング,包装などのプロセスのためのウェーファー処理システムで使用される.利点には以下が含まれます.

 

  • 汚染しない表面

  • 高温耐性

  • 優れた化学耐久性

  • クラス10~1000のクリーンルームとの互換性

下記に用いられる:

 

  • EFEMとFOUPのロードポート

  • 6",8"と12"のウエフルの輸送

  • バキューム式ピック・アンド・プレイスシステム

 オプティカル システム と 望遠鏡

 

高精度光学器具では,SiCフォークアームは以下を備えています.

  • 鏡やレンズの固い支柱

  • 温度変動下で安定した調整

  • ダイナミックな位置付けのための軽量構造物

これらの薬は,以下に用いられる.

    

  • インターフェロメーター

  • 宇宙望遠鏡

  • レーザースキャンシステム

SiCセラミックフォーク オーダーメイド 精密構造部品 ハンドル ウェーファー オプティカルコンポーネント

 

 

航空宇宙・防衛についてSiCセラミックフォーク

 

航空宇宙システムでは,SiCフォークアームは

  • 振動下での軽量性と硬さ

  • 放射線と熱ショックに対する耐性

  • 低地球軌道条件における構造安定性

典型的な役割には,ペイロードサポート,ギンバルリンク,光学マウントが含まれます.

 

ロボットと自動化システム

クリーンルーム自動化環境では,SiCフォークアームがエンドエフェクターまたはグリッパーとして使用され,以下を提示する.

  • 導電性のない,粒子を生成しない表面

  • 磨きや腐食性のある環境での長寿命

  • 真空室での脱ガス抵抗

 

パーソナライズ & 技術サポート

 

SiCセラミックフォークアームは,標準ではない精密部品として,通常,ユーザーの要求に基づいてカスタマイズされます.カスタマイズ可能なパラメータには,以下が含まれます.

 

  • 総寸法 (長さ,幅,厚さ)

  • オープニングサイズと角度

  • 表面の仕上げと荒さ

  • 切断器,穴,スロット

  • ウェーファー互換性 (6",8",12")

図面のレビュー,機械行動のためのFEMシミュレーション,パフォーマンスと互換性を確保するためのプロトタイプ検証を含むフルサイクルサービスをサポートします.

 

 

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