モデル比較表
モデル | 全範囲の圧力損失 | 大気 に 放出 さ れる 排気 ガス | 流量仕様の選択 | パイプライン接続インターフェース |
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MFC901 | 2000Pa | 50100個200個500個800個SCCM | NPT 1/8 | |
MFC902 | 5000Pa | 12 3 5SLPM | NPT 1/8 | |
MFC903 | 30kPa | 810~12SLPM | NPT 1/8 |
ピン番号 | 定義 | 解説 |
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1 | VDC | 外部電源の正極 |
2 | GND | 外部電源の負極 |
3 | 485A | RS 485A |
4 | 485B | RS 485B |
5 | VOUT | アナログ電圧出力信号 |
6 | GND | 公共の土地 |
7 | NC | 接続されていない |
8 | NC | 接続されていない |
9 | NC | 接続されていない |