性能パラメータ
機能項目 | 仕様 | ユニット | コメント |
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流量帯域 | 501,100,200,500,800,1000 SCCM 2,5,8,10,12 SLPM | | |
スケール範囲 | 100:1 | | |
電源の電圧 | 7~24 VDC,100 mA | VDC | カスタマイズ可能 |
精度 | ±10 | %FS | |
繰り返し可能性 | 0.25 | % | |
応答時間 | 67 (デフォルト) | ms | カスタマイズ可能 |
最大圧力 | 1.0 | MPa | |
通信モード | RS 485 (MODBUS) | | |
出力と表示
機能項目 | 仕様 | ユニット | コメント |
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出力方法 | アナログ出力は0.5-4.5 | VDC | |
選択可能な出力方法 | ロラ | | アポレガミー |
表示モード | 瞬時の流量:SLPM;累積流量:SL | | |
環境条件
機能項目 | 仕様 | ユニット | コメント |
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中気温 | -10から65 | °C | |
環境温度 | -25から85 | °C | |
作業湿度 | <100% RH (氷も凝縮も不要) | | |
身体 的 な 特徴
機能項目 | 仕様 | ユニット | コメント |
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体重 | 0.295 | 体重 | |
接続タイプ | NPT 1/8 | | カスタマイズ可能 |
選択的な接続 | | | |
バルブタイプ | 普通の閉じる | | |
カリブレーション条件 | 空気 20°C 101.325 kPa | | 差別化 |
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