製品紹介
CAFS 5000シリーズの一部である5000シリーズガス質量流量センサーは,マイクロ電気機械システム (MEMS) 流量センサーチップを活用しています.このセンサーは,さまざまなアプリケーションのために設計されています.清潔で比較的乾燥した小流量ガス測定とプロセス制御を含む特徴的なパッケージング技術により,高度な感度,信頼性,安定性,コスト効率を保ちながら,幅広い流量測定を処理できます.
CAFS 5000 シリーズの主な特徴は以下の通りである.
この製品の特徴は高い感度,信頼性,安定性,低コストの組み合わせです先進的なMEMS技術と洗練されたデジタル処理と校正能力によって促進されます.
機能的な項目 |
温度補償なし 質量流量計 ガス 20ms 応答時間 |
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性能パラメータ | ユニット | 意見 | |
電源の電圧 | 8~24VDC,50mA | VDC | 選択可能 |
精度 | ±15 | % | FS |
応答時間 | 65 | ms | 選択可能 |
最大圧力 | 0.8 | MPa | カスタマイズできる |
通信モード | RS 485 (MODBUS) | ||
出力方法 |
アナログ出力 1〜5 | VDC | |
4〜20mA | アポレガミー | ||
温度 | 中間温度 (-10~65),環境温度 (-25~85) | °C | |
ジョギング | G1 | カスタマイズできる | |
カリブレーション方法 | 空気と20°Cで101.325kPa | ||
全体的な素材 | ステンレス鋼 |