紫外線からの赤外線範囲への化学機械磨くリチウムTantalateのウエファー
リチウムtantalate (LiTaO3)に圧電気の、電気光学および非線形光学特徴および紫外線から赤外線に行く広い透明物の範囲がある。LiTaO3ウエファーが滑らかな表面良質と作用するためにだったことは好ましい。化学に機械に磨くことが(CMP)集積回路(IC)をplanarizeまたは基質の高い表面質を得るのに使用されていた。このペーパーはLiTaO3 CMPのためのスラリーの添加物としてクエン酸の効果を調査する。
伝送範囲 | 0.275 - 5.25 µm;0.4からの高い伝送– 4um |
R.i. | = 2.139無し、ne = 2.139 @633 nm |
反射損失 | 13.17%@0.633 µm |
密度 | 7.4564 g/cm3 |
融点 | 1650°C |
分子量 | 235.89 |
熱伝導性 | 4.6 W/m·K;8.78 W/m·K |
Spec.熱容量 | 424 J/(K·kg) |
硬度(Mohs) | 750 |
比誘電率 | 41-53 @298K |
水の容解性 | 不溶解性 |
結晶構造 | 単結晶、総合的 |
水晶タイプ | trigonal、= 5.15 Å c = 13.77 Å |
開裂の平面 | 開裂無し |
適用 | 電子視覚Qスイッチ、統合された光学基質、センサー、頻度コンバーター |
プロダクト | LtihiumのTantalateのウエファー | |
直径 | 3inch | 4inch |
76.2mm | 100mm | |
厚さ | 0.07mm | 0.1mm |
第一次平たい箱 | 22mm | 32.5mm |
S/D | 20/10 | 20/10 |
TTV | <3um | <3um |
PLTV | >95% | >95% |
ゆがみ | <20um | <40um |
弓 | <20um | <30um |
RA | <0.5nm | <0.5nm |
減少 | 標準的な白 減る黒い | 標準的な白 減る黒い |
ドープ塗料 | Feは添加した 黄色い黒 | Feは添加した 黄色い黒 |
FAQs:
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受入検査