厚い総合的な水晶石英ガラスのウエファーの二重側面ポーランド6inch 0.5mm
紫外等級の石英ガラス(JGS1)のウエファーは紫外スペクトル領域の高い透明物を取囲む。気力の伝達および紫外線はおよそある。かなりより安いJGS2ウエファーの伝送範囲はJGS1ウエファーと比較すると長波長の方に移る。JGS2の紫外線吸収はおよそ270のnmの波長の下で気力およびIRの伝達はおよそ2つのμmの波長までおよそ90%であるが、始まる。完全なスペクトルの石英ガラス(JGS3)は他より比較的高い。これらのウエファーは>およそ200 nm – 3 μm、および波長範囲0.25 –の広いスペクトル領域に80%の高い透明物を2.5のおよそ90%示す非常に低いOH内容(< 10 PPM)をμm取囲む。
変数 | JGS1 | JGS2 | JGS3 | |||||
最高のサイズ | <Φ200mm | <Φ300mm | <Φ200mm | |||||
伝送範囲(中型伝達比率) | 0.17~2.10um (Tavg>90%) | 0.26~2.10um (Tavg>85%) | 0.185~3.50um (Tavg>85%) | |||||
オハイオ州内容 | 1200 PPM | 150 PPM | 5 PPM | |||||
蛍光性 (前254nm) | 事実上自由 | 強いv-b | 強いV-B | |||||
不純物内容 | 5 PPM | 20-40 PPM | 40-50 PPM | |||||
複屈折の定数 | 2-4 nm/cm | 4-6 nm/cm | 4-10 nm/cm | |||||
溶ける方法 | 総合的なCVD | Oxy-hydrogen溶けること | 電気に溶けること | |||||
適用 | レーザーの基質:窓、レンズ、プリズム、ミラー… | 半導体および高温窓 | IR及び紫外線 |
FAQs:
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