1,記述:
モリブデン蒸発船:
モリブデン蒸発器ボートは,高純度モリブデン金属から作られたボート型の容器である.それらは薄膜コーティングなどのアプリケーションのために真空堆積システムに使用される.半導体製造モリブデンは,溶融点が高いため,これらのボートの材料として選択されています.優れた熱伝導性高温での低蒸気圧.これらの特性により,堆積される材料の効率的かつ制御された蒸発が保証されます.モリブデン蒸発機ボートは熱圧に強い耐性を有し,高温蒸発プロセスでは信頼性があります.
2,仕様:
溶融点 | 2623°C (4,753°F) |
密度 | 10.2g/cm3 |
熱伝導性 | 138 W/m·K |
蒸気圧 | 高温ではほとんどない |
電気抵抗性 | 5.2 μΩ·m |