GS600Mは,MEMS業界のニーズに応じ開発された全自動インライン式接着剤塗布設備であり,MEMS製造プロセスにおけるASICチップの封入,クリーム半田精密塗布,多重の ポカヨ ケ検 査 な どのワンストップのソリューションを提供し,生産プロセス全過程を網羅した高度な品質管理を実現します.
複数台間リンク作業をサポート,超大ロットの生産ニーズに対応
特性メリット
・設備運転安定性
業界初の一体型鋳造人工大理石フレームを採用し,良好な振動吸収能力有し,設備の高速運転による衝撃と振動を効果的に減少させ,設備の長期的な運転安定性を確保.
・複数台間リンク自動化作業に対応
リンク方式をオプションとして採用可能で,人手による介入を最小限に抑え.
・作業レール/搬送レールが分離され,全ラインのハン
グアップを防止作業レール/搬送レールが別々に運行し,単体の停止による全ライン運行への影響がない.
・全過程検査
ワークステーション作業前後の検査,最終ステーションでの専門検査,多重ポカヨケを実現.
・厳しい工程条件に応えられる
レベル100防塵で,先進パッケージ業界のニーズを満たす.
ESD対策は国際IEC,ANSI規格に準拠
・情報化管理要求を満たす
MESシステムとリンクし,生産状態情報をリアルタイムにアップロードし,異常時に警報を出し,追跡を行いま
す.国際半導体通信プロトコルと互換性があります.
応用分野
MEMSマイク/気圧計
MEMS加速度計

