タイタングレード2 グレード5 スプッティングターゲット タイタンターゲット シルバーターゲット 塗装へのスプッティング
スプッタリングは,様々な基板に薄膜とコーティングを作成するために広く使用されている堆積技術です.このプロセスでは,噴射対象から物質 (通常は金属または合金) は真空で高エネルギーイオンで爆撃されます表面に原子が放出され,表面に堆積される.これは薄くて均質なコーティングを形成する.さまざまな用途のために,タイタングレード2のような特定の材料,チタン級5特殊な特性があるため 発射対象としてよく使われます
下記では,これらのスプッターターゲットの特性,用途,およびコーティングアプリケーションの利点について詳細に説明します.

2級チタン (Ti Gr2) 噴射対象
2級チタン (Ti Gr2) は,耐腐蝕性,生物互換性,強度/重量比が優れた商業的に純粋なチタンである.様々な用途で使用される.特に高純度と耐腐蝕性が求められる場合.
属性:
- 組成: 純粋なチタン (最低99.2%) に少量の鉄と酸素が含まれています.
- 耐久性: 適度な耐久性,優れた柔らかさ
- 耐腐食性: 幅広い環境,特に塩液や体液で例外的に機能し,医療インプラントに最適です.
- 生物相容性: 毒性も反応性もないため,インプラントや他の生物医学用途に最適です
応用:
- 医療用コーティング:チタンGr2スプッターターゲットは,歯科インプラントや整形インプラントなどの医療機器のコーティングを作成するために使用されます.高い生物互換性と耐腐蝕性があるため.
- 航空宇宙用コーティング:タイタンGr2は,重量を増やすことなく腐食耐性や耐磨性を必要とするコーティングのために航空宇宙でも使用されます.
- 装飾用コーティング:チタンは輝く外見のため,消費者電子機器や高級品の装飾用コーティングに使用できます.
チタングレード5 (Ti Gr5) スプッティングターゲット
タイタングレード5 (Ti Gr5),Ti-6Al-4Vとしても知られる,チタン合金で,6%のアルミニウムと4%のバナジウムを含有する.この合金には,高強度重量比,疲労耐性,耐腐食性.
属性:
- 組成:Ti-6Al-4V合金 (90%チタン,6%アルミ,4%バナジウム)
- 耐久性: 耐久性 が 極めて 重要 な 要求 の 高い 用途 に 理想 的 に 使える よう に し て 耐久性 が 高く,疲労 耐性 が 優れている.
- 耐腐蝕性: 純粋なチタンと同様に,Ti Gr5は自然環境と産業環境の両方で耐腐蝕性が優れています.
- 生物互換性:Ti Gr5は,グレード2よりも生物互換性がわずかに低いものの,強度が高いため密度が低いため,医療インプラントに広く使用されています.
応用:
- 医療用コーティング:Ti Gr5スプッターターゲットは,骨科インプラント,歯科インプラント,脊髄融合装置,および高強度を必要とする他の医療機器をコーティングするために広く使用されています.
- 航空宇宙および自動車用コーティング: Ti Gr5は軽量で強度が高いため,高度なストレスや疲労に耐える必要があるコーティングのために航空宇宙および自動車産業で使用されます.例えば,航空機エンジンやタービンブレードなど.
- 建築用コーティング:Ti Gr5は,強度と耐腐蝕性と組み合わせた美学的な魅力が必要な建築用コーティングにも使用できます.
シルバー・スプッティング・ターゲット
シルバーは,優れた電気性および熱性を持つ高伝導性金属で,様々なコーティングアプリケーションでスプッターターゲットの人気の選択となっています.
属性:
- 構成:純銀 (99.9%以上)
- 伝導性: 電気と熱の伝導性が非常に高い.
- 光学特性: 銀は,可視光線と赤外線スペクトルで優れた反射性を有し,光学コーティングに有用である.
- 腐食耐性: 硫黄化合物の存在により銀が汚れても,ほとんどの環境で腐食に強い耐性があります.
- 柔らかさ: 銀は他の金属と比較して比較的柔らかいので,薄膜としてより簡単に堆積されるが,特定の条件下でより早く磨かれる可能性があります.
応用:
- エレクトロニクス コーティング: 銀 発射 標的 は,印刷回路,太陽電池,ディスプレイ や センサー の 電極 を 含め て,電子 用途 の 導電性 の 薄い フィルム を 蓄積 する ため に 用い られ ます.
- 光学コーティング:銀は,高い反射性があるため,望遠鏡,カメラ,光学センサーを含む光学装置の鏡コーティングに使用される.
- 装飾用コーティング: 銀のスプッターターゲットは,磨きしめ,輝く外観を生み出すために,宝石,高級品,自動車の装飾に装飾用コーティングに使用されます.
- 抗菌性コーティング:銀は抗菌性があることで知られており,銀ベースのスプッターターゲットは,医療機器,病院機器,細菌の生長を抑制する.
噴射されたチタンと銀を使用したコーティングアプリケーション
-
医療用コーティング:
- チタン (グレード2&グレード5) のコーティングは,通常,整形器具 (例えば,ヒップインプラント,膝インプラント),歯科インプラント,外科用器具に使用されます.耐腐食性機械的な強度も
- 銀の抗菌性を利用し,不妊性を確保し,感染リスクを軽減するために,医療機器や装置に銀のコーティングが適用できます.
-
航空宇宙用コーティング:
- Titanium Gr5 sputtering targets are used for aerospace coatings on components such as aircraft turbine blades and engine parts to provide high strength and resistance to wear and corrosion under extreme conditions.
- シルバーコーティングは,衛星鏡,太陽光パネル,通信装置にも使用されています.
-
電子コーティング:
- シルバーコーティングは,センサー,プリント回路板 (PCB) や太陽電池の製造を含む電導性薄膜のために電子業界で広く使用されています.
- タイタンコーティングは,耐久性や耐腐蝕性が重要なコンデンサターや半導体部品に使用される.
-
オプティカルコーティング:
- シルバー の 覆い は,色々な 波長 で 光 を 反射 する 能力 の ため,反射鏡,光学 センサー,レンズ の ため に 理想 的 です.
医療用途におけるチタン・アルミニウム合金噴射標的
亜鉛とアルミを合金噴射標的として組み合わせることで,特に医療用用途で薄膜の堆積にいくつかの利点があります.これらのフィルムは,インプラントなどの医療機器のコーティングに使用されます.手術器具や診断器具などです
タイタン・アルミニウム合金・スプッティング・ターゲットの利点
-
生物互換性
- チタンとその合金物は,生物相容性が高いため,人体内で使用すると,大きな刺激や拒絶反応を引き起こさない.アルミニウムの含有量は,この特徴をさらに強化します.特にインプラント用の薄膜で覆い.
-
耐腐食性:
- タイタンの天然酸化層は,特に生物学的環境で腐食に対する優れた耐性を備えています.チタンまたはチタン・アルミニウム合金でスプートされた薄膜は,この耐性を向上させます.身体液に曝されるインプラントには重要です腐食性のある物質.
-
耐磨性:
- タイタン・アルミニウム合金発射標的は,優れた耐磨性を持つ薄膜を堆積するために使用されます.これは,骨科インプラント,歯科機器,手術器具摩擦や磨きに耐える必要があります
-
強化された強度:
- チタンとアルミニウムを合金することで,フィルムの機械的強度が向上し,ストレスの下でも耐久性が向上します.これは負荷を負うインプラントにおいて不可欠です.骨組みや脊髄器具などです強い強度が必要とする場合
-
軽量で耐久性
- タイタンは軽量ですが 信じられないほど強く インプラント材料に最適ですチタン・アルミニウム合金から製造された薄膜は,耐久性を確保しながら,装置の軽量性を維持するのに役立ちます..
-
抗菌および抗炎症性:
- チタンコーティングは 抗菌性を持つように設計され 手術後の感染症のリスクを 減らすことができます The deposition of high-purity titanium or titanium-aluminum alloy thin films can contribute to creating a biologically active surface that encourages osseointegration (the process of bone fusing to an implant).
チタン・アルミニウム合金コーティングの特殊医療用途
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整形器具 整形器具 整形器具
- タイタン・アルミニウム合金には,強度や軽さ,耐腐蝕性があるため,ヒップ・および膝の置換器,脊髄インプラント,骨の螺栓に使用されています.この合金をインプラント表面に噴射すると薄い耐磨性や耐腐蝕性のある生物互換性のあるコーティング
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歯科インプラント
- 歯科インプラントにはチタン・アルミニウム合金から作られた薄膜が塗り付けられ,骨の統合を改善し,排斥のリスクを軽減します.これらのコーティングは,厳しい環境 (e) で歯科インプラントの耐久性を向上させる.唾液,酸,およびオクラュス力への曝露など).
-
手術用道具:
- チタン・アルミニウム合金薄膜で塗装された外科用道具は,耐磨性,耐腐蝕性,および生物互換性を向上させています.カーシーは 時間の経過とともに 性能と整合性を維持するのに役立ちます特に不妊サイクルでは
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医療機器のコーティング:
- ステントやカテーテルや血管移植などの装置は 生物互換性と体内の耐腐蝕性を向上させるために タイタン・アルミニウム合金で覆うことができますこのようなコーティングは,デバイスが体組織とより良く結合し,合併症や拒絶されるリスクを軽減するのに役立ちます.
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義肢器具:
- 耐久性と快適性を向上させるために,義肢や関節にもチタン・アルミニウム合金コーティングが適用されます.合金コーティングは強度,柔軟性,義肢の長寿長期使用に適しています.
医療用コーティング用高純度スプッターターゲットは
チタンとチタン・アルミニウム合金 (例えばTi Gr2,Ti Gr5,医療機器に堆積された薄膜が厳格な純度基準を満たすことを確保するために不可欠です医療業界では 患者の安全と デバイスの長寿にとって コーティングの整合性が 極めて重要です高度な純度でスプートリングすることで 最終的なコーティングが:
- 排斥や刺激を引き起こす不純物を避けることで生物互換性を向上させる.
- 機械的特性 (強度や柔らかさ) を維持し,生理条件下で装置が適切に機能することを確保する.
- 装置の整合性を損なうことなく,体液に長期にわたって曝されても耐えられる.
チタン・アルミニウム合金標的は,特定の特性を持つ薄膜を堆積するために噴射プロセスで使用される特殊材料である.この標的はチタン (Ti) とアルミニウム (Al) の組み合わせで作られています様々な産業用用途に 使えるような 独特な特性があります
チタン・アルミニウム合金標的の特徴:
-
高純度:
- タイタン・アルミニウム合金標的は,通常99.5%以上の高純度で生産される.この高純度により,スプートリング中に沉着する薄膜は不純物から自由である.精密なコーティングを必要とするアプリケーションで優れた性能と均一性を提供する.
-
細粒子の大きさ:
- 合金標的は細かい粒子の大きさで製造され,噴射プロセスの効率性を高めます.細かい粒子の大きさにより,膜が基板により均一に堆積する.コーティングの質を向上させる.
-
簡単にシンタリング:
- チタン・アルミニウム合金には良好なシンテリング特性があり,密度や固体形に簡単に加工できます.これは標的が耐久性があり,信頼性があり,発射過程で発生するストレスに耐える能力があり,分解しない.
-
良好な形容性
- チタン・アルミニウム合金標的は,優れた形容性で知られています.この特性により,様々な形やサイズで製造できます.異なるスプッティングシステムとの互換性を確保し,幅広い用途でその汎用性を向上させる.

チタン・アルミ合金標的の用途:
タイタン・アルミニウム合金スプッターターゲットは,耐磨性,耐腐蝕性,強いコーティングを形成する能力などの特徴性により,さまざまな産業で使用されています.いくつかの主要な用途には,:
-
切断ツール:
- タイタン・アルミニウム合金コーティングは,着用耐性,腐食耐性,熱安定性を向上させるために,切削ツールで一般的に使用されます.このコーティングは,ドリルのような道具の寿命を延ばします高速加工でより効率的に使えます.
-
シメント化炭化水素のドリル・ビットとツール:
- シメンテッドカービッドのドリルとツールは,磨削と高温条件でのツールの性能を大幅に向上させるため,チタン・アルミニウム合金コーティングの恩恵を受ける.硬い 材料 を 掘り 掘り 加工 する 時 の 切断 能力 や 耐久性 を 向上 さ せる.
-
シメンテッドカービッドセラミックツール:
- このコーティングは,セメント化炭化物から作られた陶器道具に適用され,磨損耐性,強度,強さを高めます.これは,非常に硬い材料を扱うツールを必要とするアプリケーションで特に有用です航空宇宙や自動車産業などです
-
シメンテッドカービッド型:
- チタン・アルミニウム合金コーティングは,セメント化カービッドから作られた模具にも使用されます.これらの模具は,金属鋳造プロセスで使用されます.チタン・アルミニウムコーティングによる耐磨性や耐腐蝕性の向上から利益を得る寿命の延長と製品の質の向上に貢献します.
-
粉末金属工学 超硬質材料の部品:
- 粉末 金属 工 業 を 通し て 超 硬い 材料 を 製造 する に は,チタン ・ アルミニウム 合金 が 必要 です.この 塗装 は,最終 製品 の 硬さ,熱 安定 性,腐食 耐性 を 向上 さ せる,鉱山,掘削,切削ツールなどの産業の用途に適しています
-
メタル複合陶器:
- これらの合金物は,金属複合陶器の製造に添加物としてしばしば使用されます.金属と陶器の性質の組み合わせは,より強い強度,熱耐性,電気伝導性電子機器や機械システムの要求の高いアプリケーションに適しています.
-
高温耐性合金のための添加物:
- タイタン・アルミニウム合金は,高温耐性合金の製造における主要な添加物として使用されます.これらの合金は,ジェットエンジン,ガスタービン,熱交換機熱安定性と強度が重要な場合.チタンとアルミニウムを加えると,合金の全体的な温度耐性と構造的整合性が向上します.
チタン級:
化学的要件 |
|
N |
C について |
H |
フェ |
オー |
アール |
V |
Pd |
モー |
ニ |
ティ |
Gr1 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.20 |
0.18 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
バール |
Gr2 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
バール |
Gr5 |
0.05 |
0.08 |
0.015 |
0.40 |
0.20 |
5.5〜675 |
3.5~45 |
/ |
/ |
/ |
バール |
Gr7 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
0.12~025 |
/ |
/ |
バール |
Gr12 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
/ |
0.2~04 |
0.6~09 |
バール
|
結論は
TiAl合金を含むチタン合金噴射標的は,航空宇宙から電子機器,生物医学に至る産業におけるコーティングアプリケーションに使用される汎用材料です.この材料は強さなどの 特殊な特性を持っています耐腐食性,生物互換性,耐磨性があり,耐久性があり高性能な薄膜を必要とする要求の高いアプリケーションに最適です.タイタンのスプッター標的を選ぶとき合金組成,純度,標的幾何学などの要因は,噴射過程で最適な結果を達成するために考慮する必要があります.