セラミックブロックは高温固化により高純度超細アルミナ粉末で作られています.
主要な特徴
高純度,不純度,高硬さ,耐磨性,耐腐蝕性
高精度,低熱膨張系数,高精度保持,耐磨性,耐腐蝕性
適用する
主にLED基板と半導体ウエファの薄め,硬磨,CMP磨きに使用される (サファイアウエファー,SiCウエファー,シリコンウエファー,ゲルマニウムウエファー,GaAsウエファー,GaNウエファーなど).
仕様