仕様
記述

1. コア定義と市場データ

クリーンルームとは、HEPA/ULPAフィルター、圧力差、および空調制御を通じて、ISO 14644-1規格に準拠した浮遊粒子濃度を制御する密閉空間です。

  • グローバル市場規模:‌58億ドル(2024年)
  • CAGR:‌5.7%(2024-2030年)
  • 主要セクター:半導体(32%)、製薬(28%)、ヘルスケア(19%)

2. 清浄度クラス仕様(ISO 14644-1:2023)

クラス ≥0.1μmの粒子/m³ ≥0.5μmの粒子/m³ 主な用途
ISO 3 ≤1,000 ≤35 7nmチップ製造
ISO 5 ≤100,000 ≤3,520 無菌充填ライン
ISO 7 - ≤352,000 医療機器組立
ISO 8 - ≤3,520,000 食品包装

3. 主要な機器技術パラメータ

3.1 FFU(ファンフィルターユニット)

  • 省エネ:‌DCモーターは消費電力を30〜40%削減します‌ vs. ACモーター(ASHRAE 2024)
  • 騒音レベル:‌≤45 dB‌(1mの距離で)
  • 気流均一性:‌±15%の許容範囲‌(ISO 14644-3要件)

3.2 ろ過システムの性能

フィルタータイプ 効率 圧力損失 耐用年数
HEPA 99.97% @ 0.3μm 250-350 Pa 12〜18ヶ月
ULPA 99.999% @ 0.12μm 300-400 Pa 8〜12ヶ月
化学フィルター >90% VOC除去 150-200 Pa 6〜9ヶ月

4. 新興技術

  • AI駆動型モニタリングシステム‌:
    • 粒子検出精度:‌±5%‌(従来の±15%と比較)
    • エネルギー最適化の可能性:‌20〜25%‌(MIT 2024)
  • モジュール式クリーンルーム‌:
    • 建設時間の短縮:‌40%
    • 改修コストの削減:‌35%‌(フロスト&サリバン)

5. 業界コンプライアンス要件

セクター 主要規格
半導体 SEMI F47-0706電圧降下許容度
製薬 FDA cGMP 21 CFR Part 11電子記録
バイオセーフティ BSL-3ラボはISOクラス5の動的条件を必要とします

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半導体クリーンルーム SEMI F47-0706 医薬品 FDA CGMP 21 CFR Part 11 バイオセーフティ BSL-3 ラボは ISO Class 5 規格を要求

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半導体クリーンルーム SEMI F47-0706 医薬品 FDA CGMP 21 CFR Part 11 バイオセーフティ BSL-3 ラボは ISO Class 5 規格を要求

Shenzhen Zhong Jian South Environment Co., Ltd.

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