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ドアロックモード グラファイトと半導体装置のための真空堆積炉
ドアロックモード グラファイトと半導体装置のための真空堆積炉
仕様
モデル番号 :
JT-0305-C
産地 :
中国
最低注文量 :
1セット
配達時間 :
60 日
パッケージの詳細 :
木製ケース
支払条件 :
L/C/T/t
供給能力 :
10個/月
色 :
カスタマイズ
保証 :
1年
共通の温度 :
900~1200°C
バキューム度 :
< 50Pa
大気圏 :
真空 /CH4/C3H6/H2/N2/Ar
記述

 

バキューム堆積炉は,炭素-炭素複合材料の準備に使用される.堆積炉は主にグラフィートの表面にピロリティカルカーボンコーティングを準備するために使用されます半導体装置と耐熱スクール材料

 

適用範囲:

 

グラフィット 半導体装置 耐熱スクーリング材料

1基本パラメータ:

1) 設計温度: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) 一般温度: 900~1200°C

3) 真空度: < 50Pa

4) 圧力の上昇速度:空炉の冷たい状態で6.67pA/h (または150Pa/24h)

5) 加熱モード:グラフィット抵抗加熱またはインダクション加熱,独立温度制御,良好な温度均一性

6) 大気中:真空 /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) ガス制御モード:質量流量計制御,多チャンネルガス経路,均質な流量フィールド,沉積死角なし,良好な沉積効果

多段階で効率的な排気ガス処理システム 環境に優しい 清掃が簡単

8) オーブンの種類:四角形,丸形,垂直形または水平形 (非標準設計),完全に閉ざされた堆積室,密封効果良好,強力な防汚染能力

9) 炉冷却モード: 炉殻水冷却,外流速冷却システムを選択できます,短冷却時間,高生産効率

2. 真空堆積炉の構造:

構造形:横向き - 側放出,垂直 - 上下放出

オーブンのドアロックモード:手動/自動

オーブンの殻材料:内部のステンレス鋼/全ステンレス鋼

隔熱材料:炭素フェルト/グラフィットフェルト/炭素繊維で固められたフェルト

暖房,マフルの材料:グラフィット/CFC

赤外線機器:単色計/二色計

電源:KGPS/IGBT (中周波暖房のみに適している)

ドアロックモード グラファイトと半導体装置のための真空堆積炉

製造仕様:

 

パラメータ/モデル番号 JT-0305-C JT-0505-C JT-0608-C JT-0612-C JT-0812-C JT-1120-C JT-1218-C JT-1520-C

作業領域の大きさ

φ×H(mm)

 300×500 500×500 600×800 600×1200 800×1200 1100×2000 1200×1800 1500×2000

最高温度

(°C)

 2300 2300 2300 2300 2300 2300 2300 2300
温度均一性 (°C) ±5 ±5 ±5/±75 ±7.5/±10 ±7.5/±10 ±10/±15 ±10/±15 ±15/±20
制限真空度 (Pa) 1〜100 1〜100 1〜100 1〜100 1〜100 1〜100 1〜100 1〜100

圧力の上昇速度

(Pa/h)

 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
加熱方法

 

抵抗/インダクション

 抵抗/インダクション 抵抗/インダクション 抵抗/インダクション 抵抗/インダクション 抵抗/インダクション 抵抗/インダクション 抵抗/インダクション
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Hunan Jingtan Automation Equipment Co., LTD.

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1 年数
hunan, zhuzhou
ありがとうございました 2021
主な製品 :
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年間総額 :
2million -5million
従業員数 :
40~60
認証レベル :
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