HiYi手入れ不要の1.0 CFM遠隔空気粒子のカウンターの独立したポンプのための28.3 LPMの流動度
遠隔粒子のカウンターのための独立したポンプ
流動度1.0 CFMは
FMSのクリーンルームのモニタリング システムはクリーン ルームで実時間監視環境変数のために主におよびデータstorgeおよび管理の機能を完了すること使用される。
FMSのクリーンルームのモニタリング システムはクリーン ルームの清潔の実時間監視を、温度および湿気、圧力相違、風速および他の変数実現できる。
標準的な入力は下記のものを含んでいる:遠隔粒子のカウンター、空気サンプラー、温度/湿気、差動圧力、オゾン検光子および空気速度の入力。はさみ金のアナログ出力を備えているどの装置でもシステムに統合することができる。
SP30独立したポンプはR310粒子のカウンター センサーのための外的なポンプである。