KF 高真空気圧ゲートバルブ
信頼性の高い超高真空隔離と制御ソリューション
製品の特徴:
- KF フレンズ接続設計
- 316L 不同鋼の建築物
- 急速な開/閉動作のための気圧駆動
- 超高真空値 10^-10 Torr まで
- 低漏れ率で優れた高真空密封性能
- 高温や腐食に耐える
- 遠隔自動制御機能
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製品の利点:
- 超高真空環境に適しています
- 素早く真空システムを隔離する
- 真空プロセスパラメータの正確な制御
- 機器の使用寿命を延長する
- 生産効率と生産量を向上させる
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典型的な用途:
- 半導体製造
- バキュームコーティング装置
- イオン植入システム
- 掃除乾燥装置
- バキューム・シンタリング炉
- 物理的/化学的蒸気堆積
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