製品特性
流量範囲の幅 0~300 SLPM
高精度 (1.5%F.S精度)
線形出力と温度補償
最低のゼロ・ドリフトで長期的安定を維持する
固体感知コア (表面空洞の環の薄い膜がない),阻塞や圧力衝撃に対する耐性
アナログ出力 (1〜5V) (I2C出力も利用可能)
迅速な応答時間 (20ms 応答時間)
最大評価
動作温度: -25°Cから85°C
保存温度: -40°Cから90°C
湿度: RH* 0100%
衝撃耐性100g
* センサーは冷凝液に耐える