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CVD 表面処理アプリケーションにおける前駆ガス,シリンダーガス タンブスタムヘクサフロリド
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仕様
モデル番号 :
タングランヘクサフロリド
産地 :
中国
最低注文量 :
1本
支払条件 :
L/C,T/T
供給能力 :
年間200トン
配達時間 :
15 日
パッケージの詳細 :
シリンダー/タンク
製品名 :
タングランヘクサフロリド
交通 :
海 で
DOTクラス :
2.3
純度 :
99.999%
輸送パッケージ :
海の交通機関
仕様 :
10L/15kg
商標 :
CMC
原産地 :
蘇州,中国
ケースノー :
7783-82-6
公式 :
Wf6
エインエックス :
232-029-1 試聴する
構成要素 :
産業用 純粋 空気
格付け基準 :
工業用品
化学特性 :
燃焼を支えるガス
カスタマイズ :
利用可能 カスタマイズされた要求
記述

CVDの表面処理アプリケーションにおける前駆ガス バルタンヘクサフロライド

タングメンヘクサフロリド (WF6) は,タングメン原子1個とフッ素原子6個からなる化学化合物.色のない腐食性のあるガスで,鋭い臭いがする.タンブランヘクサフローライドは,非常に反応性があり,水や空気中の湿度と激しく反応する可能性があります.毒性のあるフッ化水素ガスを放出します

ワルフスタンヘクサフロਰਾਈドの用途には,半導体製造プロセスにおけるワルフスタンフィルムの堆積のための前駆物としての使用が含まれます.化学蒸気堆積 (CVD) 技術では,様々な用途のための薄膜のウルフスタンを作成するために一般的に使用されていますタングステンヘクサフッロイドは,高蒸気圧により,効率的な堆積を可能にするため,これらのプロセスで好ましい.

適切な安全対策は,安全性や安全性について注意する必要があります.適切な保護装置の使用と処理手順を含む.この化合物を使用する際には注意する必要があります.

基本情報
製品のCOA:
 
試験用品 単位 品質要件 試験結果
CF4 ppm <0.5 <0.01
O2 ppm <0.5 <0.01
N2 ppm <1 0.03
CO ppm <0.5 <0.02
CO2 ppm <0.5 <0.01
SiF4 ppm <0.5 <0.1
SF6 ppm <0.5 <0.1
HF ppm <5 0.19
アール ppb ≤10 <0.020
そのように ppb ≤10 <0.001
B について ppb ≤10 <0.005
CA について ppb ≤5 <0.200
Cd ppb ≤2 <0.001
C.C. ppb ≤10 <0.020
フェ ppb ≤10 <0.007
K ppb ≤5 <0.100
ミニ ppb ≤10 <0.001
ほら ppb ≤5 <0.040
ほら ppb ≤0.1 <0.001
ティ ppb ≤10 <0.002
リー ppb ≤10 <0.002
U ppb ≤0.05 <0.001
Zn ppb ≤10 <0.005
そうだ ppb ≤10 <0.100
Pb ppb ≤10 <0.001
P ppb ≤2 <0.300
塩分 ppb ≤10 <0.020
ニ ppb ≤20 <0.030
クー ppb ≤5 <0.005
モー ppb ≤10 <0.001
他の金属の不純物総量 ppb ≤500 <0.0010
製品仕様:

ワルフタンヘクサフローライドWF6ガス
CAS番号: 7783-82-6
EINECS番号: 232-029-1
UN番号:UN2196
純度 99.999%
ポイントクラス: 23
外見: 無色
グレード標準:電子グレード,工業グレード

詳細な写真
                                   CVD 表面処理アプリケーションにおける前駆ガス,シリンダーガス タンブスタムヘクサフロリド
 
会社プロフィール

CVD 表面処理アプリケーションにおける前駆ガス,シリンダーガス タンブスタムヘクサフロリド

上海ケミケ・ケミカル株式会社 訓練を受けたスタッフで,ガス業界で長年の経験を組み合わせています. 我々は,ガスのシリンダー,電子ガス,など供給. そしてガスホルダー,パネル,バルブ,フィッティング,その他の設備半導体チップ,太陽電池,LED,TFT-LCD,光ファイバー,ガラス私たちの使命は,革新的な信頼性のある安全性のあるサポート,ソリューション,高品質な製品を提供するために,グローバル顧客と提携することです.
主にH2,O2,N2,Ar,CO2,プロパン,アセチレン,ヘリウム,レーザー混合ガス,SiH4,Sih2cl2,SiHCL3,SiCL4,NH3,CF4,NF3,SF6,HCL,N2O,ドーピング混合ガス (TMB,PH3,B2H6) と他の電子ガス.
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Shanghai Kemike Chemical Co.,Ltd

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主な製品 :
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年間総額 :
1000000-5000000
従業員数 :
50~150
認証レベル :
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