クリーンルーム互換性のある半導体製造のための超精密20mmメーターバルブ
製品説明:
半導体製造のミクロンレベルの精度を達成超精密20mmメーターバルブクリーンルームの環境のために設計されています高純度ドーシングバルブ超滑らかなセラミックコアと 粒子を防げるコーティングで 汚染のない流体移転を保証します プロセスエンジニアやクリーンルーム技術者向けに設計されていますエッチャント,およびドーパンツ微米未満の精度ワッフル製造に不可欠である.計測バルブSPC (統計プロセス制御) システムにデータを提供するリアルタイム流量モニタリングセンサーを含んでいます.超低死体積設計上 流体廃棄を最小限に抑え 材料効率を最大化します 磁性でない構造により 敏感な半導体機器への干渉を防ぐことができます高度なリトグラフィーと堆積処理に最適.
弾丸ポイント:
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超柔らかいセラミックコア: 流体移転中に粒子の生成を防ぐ.
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耐粒子塗装: ISOクラス1のクリーンルームで液体の純度を維持します.
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リアルタイムの流れ監視: 品質追跡のために工場のSPCシステムと統合されます.
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超低死体体積設計: 化学廃棄物を最大40%減らす
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磁性でない構造物: 敏感な半導体機械の近くで安全に使用できます.
FAQ:
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Q について: 20mmのメーターバルブがISOクラス1のクリーンルームで動作できますか?
A について: はい,その粒子を抵抗するコーティングと 陶器コアは クリーンルームの基準を満たします.
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Q について■ 配分弁は,半導体アプリケーションで超精度をどのように保証するのですか?
A について: 陶器コアとリアルタイムセンサーにより マイクロン未満の分泌精度が可能です.
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Q について: 測定弁は光抵抗性化学物質と互換性がありますか?
A について: はい,一般の光抵抗剤やエッチン剤に化学的に耐性があります.
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Q について: 工場の磁気装置に バルブが干渉する?
A について: いや,磁気のない設計で 敏感な機器の干渉を防ぎます
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Q について半導体製造にどんな利点があるのでしょうか?
A について: 化学廃棄物を削減し,ウエフルのコーティング厚さを維持します.