セリウムの承認Cvdのダイヤモンド機械CVDの真空管の炉、ガスの真空CVDの管機械Cvdの環状炉
私達のCVDの炉は50mmの直径の水晶管、二重熱い地帯、拡散の真空ポンプシステムおよび4つのチャネルのマス フローのメートルのガスの流れシステムが付いているsplitable環状炉である。それは1-4のタイプのCVDまたは拡散のためのガスを混合できる。
生産の表示:
技術仕様:
モデル | XDEM-1200CVD | ||
部I:環状炉 | |||
環状炉
| 表示 | LED | |
部屋 | 裂かれたタイプおよび上部は開けることができる | ||
最高。温度 | 短い時間の1200℃ | ||
Wokingの連続的な臨時雇用者。 | ≤1100℃ | ||
暖房率 | 提案:0~10℃/min (最高。20℃/min) | ||
温度帯 | 220+220mmの二重地帯 | ||
発熱体 | Moの抵抗ワイヤー | ||
熱電対 | Kのタイプ | ||
温度調整の正確さ | ±1℃ | ||
管のサイズ | 50 x 1000mm (最低のL) OD X | ||
温度調整 | SCRの電力制御によるPIDの自動制御 | ||
熱するカーブ | プログラム可能な30のステップ | ||
真空のフランジ | 弁が付いているステンレス鋼の真空のフランジ
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力 | 220V、50のHzの最高の単一フェーズ。3KW | ||
部II:真空ポンプ | |||
回転式ベーンの真空 Pump+Vacuum 車輪が付いているポンプaccessories+Cart
| 最終的な真空10-3トル。 そして管の中の真空はおよそ10-1トルである。 流動度:2L/S
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部III:マス フローのメートル | |||
マス フローのメートル | 4つの精密マス フローのメートル: MFC 1:0~100 sccmからのガスの流れの範囲 MFC 2&3:0~200 sccmからの制御範囲 MFC 4:0~500sccmからのガスの流れの範囲(またはあなたのrequriementに従って) 1つのガス混合タンクは弁が付いている裏蓋で取付けられている 4つのステンレス鋼の針弁は裏蓋の左側に手動で混合する4タイプ ガスを制御するために取付けられている
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部IV Inficonのデジタル真空ゲージ | |||
Inficon | 範囲1125トルのへの3.8x10-5測定の さび止めの、ガス タイプの独立者
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パッキング及び出荷:
安全な交通機関を保障するために中満ちているpolyfoamが付いている木箱。
小包は海によって、顧客の要求ごとの明白、等による空気によって、送ることができる。